판매용 중고 KOKUSAI DJ-802V #9094687

코쿠사이 DJ-802V (KOKUSAI DJ-802V) 는 반도체와 반도체 부품의 생산과 관련된 다양한 작업에 사용될 수있는 확산 용광로 및 액세서리입니다. KOKUSAI DJ 802 V는 고품질 도핑, 어닐링 및 산화 프로세스를 수행 할 수 있습니다. DJ-802V는 완전히 자체 포함 된 장치이며, 진공 챔버, 챔버 히터 및 가스 전달 시스템을 포함합니다. DJ 802 V는 사용자에게 최대 1100 ° 섭씨 온도가 가능한 공정 챔버를 제공합니다. 공정 챔버는 크롬 도금 된 직사각형 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 몰리브덴 disilicide 난방 요소로 단열됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 의 우수한 열 절연은 빠른 온도 램프와 단단한 온도 제어를 보장합니다. KOKUSAI DJ-802V에는 질소와 다른 전구체를 인정할 수있는 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 도 장착되어 있습니다. 공정에 필요한 필수 진공 수준을 제공하기 위해 자기 부양 커플 링 (magnetic levitation coupling) 을 갖춘 높은 진공 펌프 시스템이 장치 내에 설치됩니다. 저압 PECVD 프로세스에 RF 생성기 (옵션) 를 사용할 수 있습니다. 프로세스 챔버에는 샘플 소개 및 관찰을위한 2 개의 쿼츠 탑로드 포트와 대형 웨이퍼 및 샘플을 로드하기위한 2 개의 기판 홀더 홀더가 있습니다. 공정 챔버는 두께가 최대 4mm 인 최대 200 x 300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 컨트롤러 (controller) 와 소프트웨어 (software) 패키지를 사용하면 장치와 상호 작용하여 용광로의 모든 측면을 제어할 수 있습니다. 모든 프로세스 매개변수는 사용자 인터페이스에서 원격으로 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 우발적 파손이나 부대의 손상을 방지하기 위해 몇 가지 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다. KOKUSAI DJ 802 V의 모든 구성 요소는 엄격한 안전 표준을 충족하도록 테스트 및 인증되었습니다. 디제이 802V (DJ-802V) 는 반도체 생산과 관련된 많은 작업에 적합한 안정적이고 견고한 확산로이다. DJ 802 V 는 고온 기능, 고급 안전 기능, 소프트웨어 기반 컨트롤러로, 다용도 확산 용광로 및 액세서리 세트로 두드러집니다.