판매용 중고 KOKUSAI DJ-1223VN #9108337

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KOKUSAI DJ-1223VN
판매
ID: 9108337
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Furnace, 12" 2007 vintage.
KOKUSAI DJ-1223VN은 소형 부품의 고온 어닐링이 필요한 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 확산 로입니다. 대기 제어 시스템 또는 대피 된 시스템과 함께 사용할 수있는 독특한 진공 밀폐 식 챔버를 사용합니다. 챔버 (Chamber) 는 뛰어난 단열성 및 뛰어난 확산 성능을 위해 온도 균일성을 제공하는 의도적으로 골절 된 열 밀봉 설계로 이중 벽 구조로 제작되었습니다. DJ-1223VN의 중심에는 120mm x 200mm 공정 챔버 (process chamber) 가 있으며, 소형 부품의 빠른 가열과 냉각을 위해 설계되었습니다. 가열 장비는 이중 전력 조절이 가능한 강력한 16kW 흑연 가열 요소를 사용하여 정확한 온도 프로파일을 제공합니다. 또한, 표준 온도 범위는 200-1300-이지만 시스템을 교정하여 1300-1700-의 온도에 도달 할 수 있습니다. 온도 프로파일은 정확한 열전대 및 PID 컨트롤러를 통해 제어되며, 원격 모니터링 및 작동을 위한 소프트웨어 인터페이스 (옵션) 가 제공됩니다. 난방 요소 외에도, 챔버에는 쿼츠 튜브 온도 센서, 진공 게이지, 온보드 가스 청소부 (on-board gas scavenging unit) 가있는 배기 통풍구 등 여러 가지 내장 안전 시스템이 있습니다. 사용자 및 구성 요소에 대한 추가 보호 수준을 제공합니다. KOKUSAI DJ-1223VN은 확산 어닐링 및 연합 기능을위한 완벽한 선택입니다. 이 기계는 뛰어난 내구성과 프로세스 일관성을 위해 고품질 도자기, 쿼츠 부품, 스테인레스 스틸 (stainless steel) 부품으로 제작되었습니다. 또한, DJ-1223VN 은 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 지원되며, 사용자에게 탁월한 유연성을 제공하여 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 예를 들어, KY-D-12S 및 KY-D-11S는 가공소재의 정확한 발자국과 일치하도록 확산 슈라우드입니다. 둘 다 반응성 가스 혼합물 (reactive gas mixture) 이나 감소 된 대기로 작업 할 때 막 영역을 완전히 분리하기 위해 부드러운 물개 (soft seal) 를 만들었습니다. 마찬가지로, KY-T-13은 광학 시청 응용 프로그램을 수용하기 위해 형성된 쿼츠 창이있는 밀봉 처리 챔버를 제공합니다. KOKUSAI DJ-1223VN은 신뢰할 수있는 어닐링 결과, 특히 반도체 프로세싱과 같은 정밀도가 필요한 산업에서 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 최신 기술이 적용된 첨단 툴로, 정확성과 일관성에 대한 KOKUSAI (KOKUSAI) 의 지원을 받습니다.
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