판매용 중고 KOKUSAI DD-853V-8BL #9021601

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ID: 9021601
Furnace.
KOKUSAI DD-853V-8BL은 균질한 확산 및 중단되지 않은 생산을 제공하기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. 이 패키지에는 최적의 장비 성능을 위해 구조적인 CVD/PECVD 공정 챔버, 쿼츠 보트, 엘리베이터 시스템 (옵션) 및 기타 다양한 액세서리가 있습니다. 이 공정 챔버 (process chamber) 는 다른 확산 챔버 설계에 비해 처리 속도가 빨라져 생산 효율성이 향상됩니다. KOKUSAI DD853V-8BL 확산 로는 8 인치 x 8 인치 챔버 크기를 특징으로하며, 고순도 및 고수율 동종 영화를 제작하도록 설계되었으며, 대규모 연구 및 상업 운영에 이상적입니다. 이 패키지는 실리콘, 실리콘 기반 장치, 큐프레이트 기반 화합물 등 다양한 재료를 처리하는 데 사용할 수있는 최대 3 개의 쿼츠 보트를 수용 할 수 있습니다. 멀티 슬라이드 (multi-slide) 및 오픈 백 (open-back) 설계를 통해 프로세스 챔버를 사용하면 재료와 통합 챔버 작업을 쉽고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 패키지에는 옵션 (옵션) 의 고도 시스템이 제공되어 확산 챔버 (diffusion chamber) 내의 쿼츠 보트 (quartz boat) 를 효율적으로 주기할 수 있습니다. 이 자동 엘리베이터 장치는 안정적이고 안전한 작동, 정확한 위치 지정, 향상된 열 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. DD853V 8BL에는 스퍼터 전원 공급 장치, 전극 RF 바이어스 전원 공급 장치, 부스터 펌프, 비활성 가스 조절기, 가스 질량 흐름 컨트롤러 등 다양한 확산 용광로 액세서리가 포함되어 있습니다. KOKUSAI DD853V 8BL 확산 용광로 패키지의 모든 구성 요소는 안정적이고 효율적인 성능을 위해 설계되었습니다. 챔버는 열 질량이 낮은 쿼츠 코트 (QuartzCote) 보호 및 멀티 슬라이드 디자인으로 구성되어 있으며, 뛰어난 열 균일 성을 보장하며, 쿼츠 보트 및 엘리베이터 머신은 편의성, 안정성 향상, 공간 효율적인 사용을 제공합니다. 이 패키지는 안전성과 편의성을 염두에 두고 설계되었으며, 사용 편의성과 효율성을 극대화하기 위해 KOKUSAI는 프로그래밍 가능한 설정 (setting) 과 다양한 제어 시스템 (control system) 으로 자동화되어 생산의 정확성과 균일성을 보장합니다.
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