판매용 중고 KOKUSAI DD-853V #9074137

KOKUSAI DD-853V는 반도체 프로세싱에서 모든 표준 프로세스의 탁월한 성능을 위해 설계된 최첨단 수평 확산 로입니다. 고정밀 벽 원자로와 신뢰할 수있는 이중 세그먼트 내화 라이닝을 특징으로하여 우월하고 뛰어난 층 균일 성을 생산합니다. 이 장비는 뛰어난 반복 가능성, 정확성, 균일성, 열 및 온도 균질성을 제공하며, 또한 실험 프로세스 및 다운타임과 관련된 비용을 줄입니다. 이 시스템은 최대 온도 1,180 ° C 및 최소 800 ° C를 자랑하며, 허용 한도는 ± 1 ° C입니다. 이를 통해 대규모 생산이 기존 확산 용광로 (diffusion furnace) 에서 발생하는 문제로부터 자유로워집니다. 이 장치는 또한 최대 10-5Pa의 다운 워밍 기능과 1.5x10-5 Pa/초에서 0.5x10-4 Pa/초의 가변 온난화 속도를 갖춘 고성능 진공 수준을 제공합니다. 또한, 확산 로의 힘은 콘솔 인터페이스 (console interface) 를 통해 제어되는 매개변수에 의해 쉽게 관리되고 제어됩니다. KOKUSAI DD 853V 는 다양한 수준의 사용자의 요구를 충족하는 다양한 액세서리를 제공합니다. 여기에는 업그레이드 된 냉각기, 특수 확산 판, 입자 필터, 사용자 정의 핫 존 등이 포함됩니다. 커스터마이징 가능한 핫 존 (hot-zone) 에는 여러 개의 열과 슬롯이 있으며, 냉각 도구는 대용량 냉각 에셋을 제공하여 냉각 시간을 효율적으로 조절할 수 있습니다. DD-853V (DD-853V) 가 채택한 고급 자동화 및 제어 모델은 원활한 운영 및 향상된 프로세스 제어를 보장합니다. 또한 방열과 냉각 시간이 쉽게 프로그래밍됩니다. 사용자는 LCD 모니터 디스플레이를 통해 확산 과정을 쉽게 추적하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, DD 853V 는 반도체 프로세싱의 여러 측면에서 탁월한 효과적이고 비용 효율적인 확산 로와 액세서리 솔루션입니다. 첨단 자동화/제어 장비, 고효율 냉각 시스템, 업그레이드 가능한 액세서리를 갖춘 KOKUSAI DD-853V 는 생산률· 품질이 우수한 고객을 위한 완벽한 선택입니다.