판매용 중고 KOKUSAI DD-823V-8BL #9028314

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KOKUSAI DD-823V-8BL
판매
ID: 9028314
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Pyro (N2O) furnace, 8" 1995 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8BL은 웨이퍼 결합, 산화물 침착, 고온 어닐링 등 다양한 열 공정을 위해 설계된 확산 로입니다. 이 다용도 기계는 우수한 온도 제어를 위해 고온 절연 (high temperation insulation) 및 알루미나 (alumina) 판과 같은 고급 부품을 사용하여 제작되었습니다. 250 ° C ~ 1200 ° C 범위의 조절 가능한 내부 온도, 뛰어난 균일성 및 전체 작동 범위에서 0.1 ° C 안정성을 갖춘 높은 반복성을 제공합니다. 온도 범위는 사용자에게 친숙한 디지털 제어 인터페이스 (digital control interface) 를 통해 조정할 수 있으며, 이를 통해 프로그래밍 가능한 온도 프로파일이 가능합니다. 또한 경고 및 전원 차단 기능이 내장된 과열 상태로부터 보호합니다. DD-823V-8BL은 석영 튜브 석영 도가니 (crucible) 에 숨어 있으며, 이는 열 과정에서 도가니 및 웨이퍼를 수용하는 데 사용됩니다. 이 석영 "튜브 '에는 공정 을 관찰 하기 위한 석영" 윈도우' 와 공정 이 진행 중 에 열손실 을 최소화 하는 덮개 가 들어 있다. 무산소 대기로 구동되는 도가니 (crucible) 는 다양한 공정에 필요한 온도 및 산화 수준을 유지할 수 있습니다. 이 용광로에는 분리 된 전원 공급 장치, 터보 타입 송풍기, 정밀 온도 관리를위한 독립 PID 컨트롤러 (Independent PID Controller) 와 같은 여러 가지 추가 기능도 포함되어 있습니다. 또한 사용자는 미리 열 시간 (preheat time) 과 프로세스 간격 시간 (interval time) 과 같은 설정을 사용자정의할 수 있습니다. KOKUSAI DD-823V-8BL은 전자 및 반도체 제조에 사용되는 광범위한 프로세스에 적합한 견고하고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 온도 조절 기술 (Temperature Control Technology), 온도 프로파일 프로그래밍 (Temperature Profile Programming) 등 다양한 기능을 통해 효율적이고 정밀한 열 프로세스에 이상적인 용광로입니다.
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