판매용 중고 KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace #9023917
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판매
ID: 9023917
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
High temperature batch anneal furnace, 12"
Free processing of FOUP is possible by 1 FOUP high-speed transfer
The FOUP Transfer part is equipped with Area Sensor for safety of system
Buffer 16 FOUP storage for 12" Wafer (18 FOUP option)
Full range pressure control from ATM to Low Pressure (option)
Fast temperature ramp up/down control (option)
Furnace port opens downwards
SiC wing boat with wafers inside is loaded into the reactor tube without touching the process tube
Equipped with a variable number of wafers transfer mechanism
CX series controllers made by Hitachi Kokusai are adopted in the system
Main operation control panel uses color LCD touch control panel
FOUP charge port of the system is equipped with LIGHT CURTAIN for safety
Restriction of operation regarding environment (heavy industrial areas)
12" single boat
Temperature monitoring by 5 outer T/C, 1 cascade T/C, 5 overtemp T/C
Gases (Horiba Stec):
30 slm Ar/4%H2 (MFC)
30 slm N2 (MFC)
30 slm O2 (MFC)
1 slm O2 (MFC)
0.5 slm HCl (MFC)
10 slm Ar (MFM)
Currently installed
2007 vintage.
KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace는 다양한 재료의 빠른 열 처리를 수행하도록 설계된 확산 로입니다. 이 제품은 독자적인 프로세스 컨트롤러 (process controller) 를 탑재하여 빠른 열 처리 과정에서 고급 기능을 제공합니다. 용광로는 실리콘, 알루미늄, 금속 및 플라스틱을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 300 ° C ~ 1300 ° C 범위의 온도를 처리 할 수 있으며 1 초의 매우 짧은 주기 시간이 있습니다. Quixace는 직접 드라이브 메커니즘을 사용하여 가열률 (heating rate), 온도 범위 (temperature range) 및 냉각 속도 (cooling rate) 를 빠르게 변경할 수 있습니다. 스테인리스 스틸 챔버 및 보호 알루미나 라이너 (alumina liner) 는 안정적이고 안정적인 처리를 가능하게합니다. Quixace는 다단계 처리를 수용하도록 구성되었으며 어닐링, 활성화, 황폐, 퇴화, 채무, 유약, 임신 등에 사용될 수 있습니다. 이 확산 퍼니스는 소형 부품 배치 (compact component placement) 와 바닥 공간 (floor space) 을 매우 효율적으로 활용하는 인체 공학적 설계를 특징으로합니다. Quixace는 이중 대기 순환 시스템에서 제공하는 뛰어난 균일성과 유연성을 제공합니다. 또한 열 손실을 최소화하여 에너지 소비를 줄이기 위해 고급 절연 재료 (Advanced insulation materials) 로 설계되었습니다. 쿼스 (Quixace) 로의 고급 안전 기능은 프로세스 안정성과 성능을 보장하며, 과잉 처리 및 사고와 관련된 위험을 제거합니다. DD-1206V-DF Quixace (DD-1206V-DF Quixace) 에는 다양한 액세서리가 장착되어 있어 다양한 열 처리 요구에 적합합니다. 사용자의 원하는 프로세스에 따라 사용자정의할 수 있으며, 공구 포트, 샘플 홀더를위한 쿼츠 튜브 (quartz tube), 조정 가능한 유속, 최대 16 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 또한, Quixace 는 PC 기반 소프트웨어와 같은 다양한 데이터 획득 및 제어 시스템과 상호 작용하여 프로세스 제어 및 모니터링 작업을 자동화할 수 있습니다. 전반적으로 KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace는 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 매우 정확한 확산 로로, 다양한 고온 처리 요구를 위해 설계되었습니다. 강력한 빌드 품질, 사용자 친화적 설계, 다양한 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖춘 Quixace는 열 처리 어플리케이션에 적합한 옵션입니다.
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