판매용 중고 CENTROTHERM E2000 HT 300-4 #9102861

CENTROTHERM E2000 HT 300-4는 반도체, 광전자 및 관련 기술을 제조하기 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 전처리를 위해 조종 된 대기가있는 단일 구역 가열로 장비입니다. 이 용광로 시스템은 신뢰할 수있는 처리 조건을 제공하기 위해 다양한 온도, 시간, 압력 조건에서 테스트됩니다. CENTROTHERM E2000HT 300-4의 최대 작동 온도는 1050 ° C이며 리필 속도는 2g/min입니다. 이 확산 용광로는 온도 균일성과 견고성을 향상시키는 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 로 구성됩니다. 또한 조절 가능한 유속, 빠른 난방 속도, 강력한 전기 백필링 장치 등이 있습니다. 범용 전원 공급 장치를 사용하면 기존 전원 (110/240VAC 50/60Hz 포함) 과 작동할 수 있습니다. 또한, 주어진 온도 및 다양한 압력에 대한 내장 가스 혼합 기능을 포함합니다. E2000-HT 300-4 (E2000-HT 300-4) 는 열 어닐링에 이상적인 기계로, 정밀한 온도 균일성과 처리 실행 사이의 높은 수준의 반복성을 제공하기 때문입니다. 웨이퍼 기반 및 패널 레벨 처리에 모두 적합합니다. 또한 여러 기판 크기와 모양을 처리 할 수 있습니다. 확산 로에는 난연제 금속 케이스, 조절 가능한 가스 백 필링 도구, 기계식 랙, 고온 절연 여성 커넥터 등 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. E2000 HT 300-4는 다재다능하고 신뢰할 수있는 장비로, 도핑, 확산, 어닐링 및 기타 열 프로세스에 적합합니다. 모든 프로세스를 단일 챔버 (single chamber) 로 완료하고 높은 수준의 균일성을 보장합니다. 또한 간편한 운영, 유지 보수, 그리고 배치 (batch) 및 일괄 처리 (batchless) 시스템 모두에 대해 정확하고 안정적인 재현이 가능한 결과를 제공합니다.