판매용 중고 BRUCE BDF-4 #9013994

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BRUCE BDF-4
판매
ID: 9013994
웨이퍼 크기: 5"
Furnace bank, 5" Tube1-Pyro Tube2-Pyro Tube3-Pyro Tube4-LTO Currently de-installed and stored in a dry area.
브루스 BDF-4 (BRUCE BDF-4) 는 호환되는 액세서리와 결합 된 고급 확산 로로, 어닐링 및 솔리드 스테이트 확산 (solid-state diffusion) 을 포함하여 기판 표면 확산 작업을하는 사용자에게 독특한 기능 세트를 제공합니다. BDF-4는 최대 6개의 처리 영역을 지원하며, 각 영역마다 최대 2,000 ° C의 온도를 갖도록 설계되었습니다. 확산 용광로의 3면 챔버는 우수한 내구성과 내열성을 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 5 프로세스 파이프 매니 폴드는 효과적인 온도 제어를 위해 설계되었으며, 사용자는 각 존에 대해 최적의 온도 균일성을 제공합니다. 고압 quench 밸브는 확산 후 빠른 냉각을 위해 설계되었습니다. 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 BRUCE BDF-4는 고급 제어 시스템과 정밀 구성 요소를 통합합니다. 내부 전자 패키지에는 PID 온도 컨트롤러 (PID temperature controller) 가 포함되며 디지털 컨트롤러는 모든 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 용광로는 또한 고정밀 흡열, 발열 및 현장 내 챔버를 특징으로하며, 사용자는 챔버 대기 압력 및 산소 수준을 모니터링합니다. 사용자 정의와 관련하여, BDF-4 는 다양한 연구 요구에 맞게 여러 가지 독점 옵션을 제공합니다. 각 챔버 (Chamber) 는 전 세계 독립 인증 공급업체가 제공하는 다양한 확산 소모품을 수용하도록 설계되었습니다. 처리 중 온도를 모니터링하기 위해 사용자는 유형 -K 열전대 센서 (type-K thermocouple sensor) 와 온도 기록기 (temperature recorder) 중에서 선택하여 시간이 지남에 따라 온도 프로파일을 추적 할 수 있습니다. 모든 실험실 환경에서 안전이 최우선 과제이며, 브루스 BDF-4 (BRUCE BDF-4) 는 챔버 및 프로세서에 대한 고급 안전 보호 기능을 제공합니다. 확산 로에는 챔버의 역밸브 (reversing-valve) 및 저압 차단 (low-pressure shutoff) 보호 및 과열 및 과열 보호가 모두 장착되어 있습니다. 또한, 클린 룸 사양 미립자 및 에어로졸 필터는 환경을 깨끗하고 안전하게 유지합니다. BDF-4 확산 광로 (BDF-4) 및 보완 액세서리 (complementary accessory) 사용자는 기판 표면 확산 프로세스에서 반복 가능한 결과를 얻기 위해 고급 플랫폼의 혜택을 누릴 수 있습니다. 고급 제어 시스템, 온도 균일성 및 독점 옵션의 조합으로 인해 BRUCE BDF-4는 모든 연구 실험실에서 완벽한 선택이되었습니다.
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