판매용 중고 BRUCE BDF-4 #72491

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BRUCE BDF-4
판매
ID: 72491
웨이퍼 크기: 6"
furnaces, 6".
브루스 BDF-4 (BRUCE BDF-4) 는 표면 또는 대부분의 금속, 도자기 및 안경을 정확하게 제어하는 데 사용되는 고성능 확산 로입니다. 확산 기술을 사용하여 박막, 확산 장벽, 게터 및 기타 구성 요소를 만듭니다. 용광로는 하단에 반응 챔버가있는 상단로드 캐비닛으로 구성됩니다. 챔버 안에는 방의 온도를 측정하기 위해 가스 입구, 가스 콘센트 및 온도 (thermocouple) 가 있습니다. 챔버의 작동 온도 범위는 670-1600 ° C이며 수평 및 수직 방향으로 작동 할 수 있습니다. 방은 외부 가장자리에 가이드 핀 (guide pin) 이있는 라이저 (riser) 에 앉은 세라믹 베이스에 있습니다. 라이저는 수동 핸드 크랭크 (manual hand crank) 를 사용하여 위아래로 이동할 수 있으며, 크기가 다른 조각을 수용하는 데 사용됩니다. 도가니 "홀더 ', 선반 및 도가니 는" 라이저' 위 에 놓을 수 있고 선반 은 다른 동작 높이 에 맞게 조정 할 수 있다. BDF-4는 또한 진공 시스템 (vacuum system) 과 함께 제공되어 필요할 때 챔버에 진공 환경을 만듭니다. 진공 압력은 공정에 대한 반응 요구 사항에 따라 진공/압력 조절기 (vacuum/pressure regulator) 를 통해 제어 할 수 있습니다. 이 퍼니스는 또한 고성능 가스 제어 시스템 (gas control system) 을 갖추고 있는데, 이 시스템은 챔버에서 진공을 잃지 않고 여러 개의 가스 종을 도입 할 수 있습니다. 가스 제어 시스템 (Gas Control System) 에는 내장 온도 조절, 조절 가능한 가스 콘센트 및 챔버에 존재하는 정확한 가스 양을 모니터링하는 옵션 외부 센서 (External Sensor) 가 장착 된 조절 가능한 가스 입구가 포함되어 있습니다. 브루스 BDF-4 (BRUCE BDF-4) 에는 정확한 기간이 필요한 프로세스의 정확하고 반복 가능한 타이밍을 보장하는 고온 타이머도 포함되어 있습니다. 또한, 퍼니스에는 챔버에서 일어나는 반응의 쿨다운 (cool-down) 단계를 정확하게 제어하기위한 냉각 팬 (cooling fan) 과 풍속계 (anemometer) 가 포함됩니다. BDF-4는 예외적 인 확산 로로 (diffusion fornace) 로, 박막, 확산 장벽, 게터 및 기타 구성 요소를 만들기 위해 광범위한 응용 분야를 갖추고 있습니다. 조정 가능한 가스 입구, 가스 콘센트, 진공을 위태롭게하지 않고 여러 가지 가스 종을 도입 할 수있는 능력, 이 퍼니스는 복잡하고 정밀한 확산 과정을 수행하는 데 이상적입니다.
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