판매용 중고 ASM A 600 UHV #195781

ASM A 600 UHV는 UHV (Ultra-High Vacuum) 준비, 처리 및 박막 증착을 목적으로 설계된 확산 로와 액세서리 세트입니다. 진공실, 전기 난방 요소, 전원 공급 장치, 안전 연동 장치, 디지털 로드 제어 장비 및 자동 증착 제어 모듈로 구성됩니다. 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 내부 직경이 600mm 인 원통형 디자인이 있습니다. 상하에 장착 된 2 개의 수냉식 콜드 트랩 (cold trap) 이 장착되어 수증기가 기판에 도달하지 못하도록 도와줍니다. A 600 UHV의 전기 가열 요소는 니크롬 요소가 내장 된 붕산염 유리 튜브입니다. 이 니크롬 (Nichrome) 요소는 전원 공급 장치 (power supply unit) 에 직렬로 연결되어 진공실 내에서 온도를 정확하게 조작 할 수 있습니다. 전원 공급 장치 는 "실내벽 '에 내장 되어, 난방 요소 들 을 단열 하고 안전 하게 제어 할 수 있게 해 준다. 제어 시스템은 디지털 로드 컨트롤러 및 PID (Proportional Integral Derivative) 알고리즘을 사용하여 0.1도 C의 정확도로 온도를 모니터링하고 조정합니다. ASM A 600 UHV는 또한 직원 및 장비를 보호하기 위해 설계된 여러 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 온도 조절 초과, 비상 정지, 압력 안전 연결 및 전원 공급 장치 잠금이 포함됩니다. 또한 전체 장치는 UHV 압력 (10 ^ -11 ~ 10 ^ -9 대기) 으로 작동하도록 설계되었습니다. 이것은 표면 준비를위한 오염 환경이 매우 낮습니다. 세트의 최종 구성 요소는 자동 배치 제어 모듈입니다. 이 모듈은 증착 시간 및 가스 흐름을 정확하게 제어하여 다중 증착 사이클 (multiple deposition cycle) 을 허용합니다. 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 유지하는 데 도움이 되는 자동 초기화 (auto-initialization) 기능이 장착되어 있습니다. 이것은 반복 가능하고 일관된 증착 결과를 보장합니다. 결론적으로, A 600 UHV는 증착 및 코팅 공정을 위해 특별히 설계된 신뢰할 수있는 다목적 초고속 진공 기계입니다. 디지털 온도, 압력 제어 (Pressure Control), 안전 연동 (Safety Interlock), 자동 증착 제어 (Automated Deposition Control) 등 다양한 기능을 통해 정확성과 반복 가능성을 유지할 수 있습니다. 이러한 기능은 산업 및 실험실 응용 분야에 이상적인 선택입니다.