판매용 중고 ASM A 412 #9117001

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ASM A 412
판매
ID: 9117001
웨이퍼 크기: 12"
Doped poly vertical LPCVD furnace, 12".
ASM A 412는 확산 결합 프로세스를 위해 설계된 고급 용광로 및 액세서리 세트입니다. 이 단위 는 산화 하지 않고, 그렇지 않으면 확산 과정 에 관련 된 물질 을 분해 시키지 않고, 고온 에서 성분 을 함께 결합 시키는 데 적합 하다. 고급 기술을 사용하여 ASM A412 (ASM A412) 는 급지대 메커니즘과 다양한 난방 요소를 사용하여 결합 과정의 온도가 일관되게 유지됩니다. 확산 공정으로 인해 A 412는 반도체, MEMS, 집적 회로와 같은 고정밀 재료 작업에 적합합니다. A412에는 두 가지 기본 구성 요소 인 ASM A 412 머신과 PC5 제어 장치가 있습니다. ASM A412에는 석영 창문이있는 핫 존 챔버 (hot zone chamber), 세라믹 섬유 난방 요소, 질소 가스 컨트롤 및 퍼징을위한 가스 박스 (gas box) 가 포함됩니다. PC5 제어 장치에는 터치 스크린 디스플레이 (touch-screen display) 와 장치의 작업 및 프로그래밍 관리를 위한 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 설정을 통해 사용자는 보고서에 액세스하고, 단계별 작동 매개변수 (온도, 가열 속도, 냉각 속도, 대기 제어 등) 를 설정하고, 전체 확산 결합 프로세스를 모니터링하고, 제어할 수 있습니다. 412는 확산 프로세스에 대한 최적의 작동 온도는 700 'C (1,292-F) 이지만 200 ~ 1,200' C (392-2,192-F) 의 온도로 작동 할 수 있습니다. 또한, A412는 전체 핫 존 (hot zone) 에 균일 한 열 프로파일을 유지하는 최상위 로드 talc 코팅 석영 서셉터를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 과도한 이동 또는 분해 없이도 부품의 균일 한 확산 결합을 달성 할 수 있습니다. 특히 틴 리드 (tin-lead) 합금에 중요합니다. 또한, 디바이스의 자동 기울기 조정 (auto-tilt adjustment) 을 사용하면 융합되는 컴포넌트의 최적의 배치 및 이동을 위해 챔버의 각도를 조정할 수 있습니다. 마지막으로, ASM A 412는 결합 과정 전반에 걸쳐 적절한 압력 및 온도 수준을 보장하는 정교한 공기 흐름 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 로 말미암아 산화 위험성 이 감소 되고, 약실 의 한 쪽 이 다른 쪽 보다 더 뜨겁더라도, 균일 한 온도 를 보장 하는 데 도움 이 되며, 온도 충격 으로부터 결합 되는 성분 을 보호 하는 데 도움 이 된다. 그렇다. ASM A412는 엄청나게 다재다능하고 강력한 확산 결합 시스템입니다. 정교한 제어 장치 (control unit) 와 조정 가능한 온도 및 공기 흐름 설정 (adjustable temperature and airflow settings) 은 균일 한 확산 공정이 필요한 민감한 재료를 사용하여 작업하기에 이상적인 도구입니다.
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