판매용 중고 ASM A 412 #9097361

ASM A 412는 여러 구성 요소로 구성된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 도펀트 확산, 웨이퍼 산화, 빠른 열 처리 등 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 확산 용광로는 큰 원통형 진공실입니다. 챔버에는 최대 600mm 크기의 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 가변 너비가 있습니다. 이 시스템은 독점적 인 측면 가열 및 균일성 (lateral heating and uniformity) 기술을 사용하여 웨이퍼 표면에 균일 한 온도 프로파일을 생성합니다. 이 용광로에는 진공 측정 장치 (vacuum measurement unit) 와 프로세스 매개변수 설정 및 프로세스 데이터 모니터링 제어 (controls) 도 포함되어 있습니다. ASM A412 기계에는 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 챔버의 턴테이블을 사용하면 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼로 웨이퍼 캐리어를 적재 및 언로드할 수 있습니다. "로봇 '암 은" 와퍼' 를 챔버 '에 도입 하여 제거 하는 것 을 지지 한다. 로봇 암 (robot arm) 은 독점 설계 광학 추적 도구를 사용하여 처리 용도의 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 412 자산에는 안정적이고 안전한 성능을 보장하는 다양한 기능과 옵션이 제공됩니다 (영문). 통합 안전 연동 모델 (Integrated Safety Interlock Model) 을 사용하면 처리 중 오류 또는 불규칙성이 감지되면 장비를 종료할 수 있습니다. 수냉식 "싱크 '를 통합 하여" 챔버' 에서 열 을 추출 하고 온도 가 한계 내 에 있게 한다. 이 "시스템 '에는 자동" 가스' 유량 과 주문 장치 도 포함 되어 있는데, 이 장치 는 "아르곤 '과 기타" 가스' 들 이 "애플 '을 위한 정확 한 속도 로 전달 되도록 보장 해 준다. PROCEASE Fusion 2 소프트웨어 패키지에는 A412 시스템이 함께 제공되며, 프로세스 매개변수 설정 및 도구 성능 모니터링을 위한 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 인터페이스가 제공됩니다. 통합 소프트웨어 제어 모듈은 원격 액세스를 제공하며, 모든 위치에서 자산 제어를 가능하게 합니다. 이 소프트웨어에는 특정 프로세스에 대한 레시피를 사용자 정의하는 데 사용할 수 있는 고급 옵션 (예: 자동화 모델) 도 포함되어 있습니다. ASM A 412 확산 광로 및 액세서리 장비는 사용 편의성과 최적화된 성능을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 신뢰성이 높으며 동급의 다른 확산 로에 비해 뛰어난 반복성을 제공합니다. 종합적인 제어 기능, 향상된 열 균일성, 편리한 소프트웨어 패키지로, 이 확산 로는 많은 반도체 애플리케이션에 적합합니다.