판매용 중고 ASM A 400 #9039231

ASM A 400은 전자 장치를위한 실리콘 및 기타 반도체 재료 성장을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 제품은 고순도, 저비용, 결함이 없는 반도체 재료를 위한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다. ASM A400은 고도의 확산 로와 액세서리입니다. 직경이 최대 24 "인 웨이퍼를 처리 할 수있는 대형 작업 챔버가 특징입니다. 이 용광로 에는 여러 개 의 가열 요소 가 갖추어져 있어서, 온도, 대기, 주기 시간 을 극히 정확 하게 제어 할 수 있다. 효율적인 냉각 장비는 확산 처리 후 웨이퍼와 부품을 냉각시킵니다. A-400 은 고성능 및 수익률을 보장하는 최신 기술로 설계되었습니다. 지능형 제어 시스템 (Intelligent Control System) 은 프로세스 중 매개변수를 동적으로 조정하여 배율을 줄이고 반복 가능한 결과를 확인할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 작동 중 잠재적 문제를 감지하기 위한 고급 기능 (예: 통합 진단 컴퓨터) 도 포함되어 있습니다. 확산 용광로는 인라인 및 배치 처리 모두를 위해 설계되었습니다. 대기 구성을 정확하게 제어하는 기능을 포함하여, 유연한 처리 구성을 제공합니다. A 400으로 최대 1600 ° C의 온도를 얻을 수 있습니다. 또한, 환원 과정을 위해 히드라진 및 암모니아와 같은 공정 가스를 첨가 할 수있다. A400 액세서리에는 확산 용광로 (diffusion furnace) 의 효율적이고 정확한 작동을 위해 다양한 필수 구성 요소가 포함되어 있습니다. 여기에는 다양한 유형의 웨이퍼 및 부품 (wafer and part) 에 대한 급지대 세트, 효율적인 열 전달, 냉각수 도구 및 가스 처리 구성 요소를 보장하는 감지기 세트가 포함됩니다. 또한 유도 코일 및 통합 히터가있는 용광로 벽과 같은 가열 요소가 포함됩니다. ASM A-400 (ASM A-400) 은 순도 및 정밀 제어가 높은 반도체 재료의 확산 처리에 이상적인 솔루션입니다. 모듈식 설계를 통해 다른 어플리케이션에 쉽게 적응할 수 있으며, 액세서리 (accessory) 는 효율적이고 일관된 확산 처리에 필요한 모든 구성 요소를 제공합니다.