판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / HCT E500SD-B/5 #9193773

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AMAT / APPLIED MATERIALS / HCT E500SD-B/5
판매
ID: 9193773
빈티지: 2011
Wire saw Water input: Input pressure: >2.5 bar Input temperature: <9°C Cooling unit power: 150 kW Incoming water flow (without cooling compressor): 18.5 m³/h Machine: Wire speed / Acceleration: 18*/5 m/s / m/s² Wire guides length: 520 mm Wire guides diameter: 300 mm Horizontal working space: 360 mm (4) Wire guides Wire guides drives power: 2x61 kW (2) Tables: Travel (depends on clamping): 290 mm Cutting speed: 0-9000 um/min Fast table speed: 0-500 mm/min Hydraulic passive clamping system Wire: (8) Pulleys Wire tension: 0-30N Wire length: 640 km Wire web width: 500mm Slurry: Tank capacity: 550 lit Pumping capacity: 2x160-200 * (1,6 kg/dm3) kg/min Pump power: 3x7.5 kW Pumping speed adjustment: 0-100% (3) Pumps (6) Manifolds in slicing room Frame & others: Stainless steel Sliding doors Color of frame and panels: RAL 5011 Utilities: Air pressure: 4 to 6 bar Air flow (dry): Min 25 m3/h Air exhaust (pipe ø150 mm): 3x100 m3/h Cooling unit power: 150 kW Incoming water pressure: Min 2.5 bar Incoming water temperature (with cooling compressor): 20 (30 RFNS) °C max 20 Incoming water temperature (without cooling compressor): 9 °C Max Incoming water flow (with cooling compressor): 10.3 m3/h Incoming water flow (without cooling compressor): 18.5 m3/h B5 Base with retrofit hardware Diamond wire technology Machine can run with 120 or 100 µm wire Electrical hooking 50 / 60 Hz: 3x400 / 480 Average power (with cooling compressor): 208 kVA Maximum power (with cooling compressor): 339 kVA Average power (without cooling compressor): 156 kVA Maximum power (without cooling compressor): 287 kVA Grid failure safety option 2011 vintage.
HCT E500SD-B/5 Crystal Growing, Sawing & Slicing Equipment는 반도체 산업을위한 GaAs, InP 및 관련 화합물 반도체 재료와 같은 비 산화물 결정 물질의 성장, 단면 및 랩핑을 위해 설계된 정밀 도구입니다. 이 시스템에는 첨단 환경실 (Environmental Chamber) 과 정확하고 안전한 작동을 위한 선형 및 편심 드라이브가 장착되어 있습니다. 이 장치는 얇은 0.5 m 정도의 다양한 재료를 성장, 톱질, 단면 및 랩하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 600mm X-Y PZT 스테이지, 통합 블레이드 제어 도구 및 고성능 차세대 뷰 카메라가 있습니다. E500SD-B/5는 AGC (Automated Growth Control) 프로세스를 활용합니다. AGC (Automated Growth Control) 프로세스는 가장 어려운 재료의 슬라이싱 및 랩핑의 균일성과 안전성을 향상하도록 설계되었습니다. 톱블레이드 (Saw Blade) 는 고급 가드 에셋 기술에 의해 제어되고 Z방향 (Z-direction) 으로 제어되어 절삭 효과가 수정의 표면과 완벽하게 정렬되어 최소한의 표면 손상으로 완벽한 슬라이스를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 수작업으로 또는 모듈러 컨트롤러 (Modular Controller) 플랫폼을 통해 단일/다중 축 스캔을 수행하는 데 사용할 수 있습니다. 즉, 고도로 통합된 마이크로프로세서가 포함되어 있으며 작동 속도가 빨라집니다. 모듈식 컨트롤러 (Modular Controller) 플랫폼은 고급 진공 컨트롤러 (Advanced Vacuum Controller) 와 통합되어 성장 및 슬라이싱 작업 중 프로세싱 챔버를 모니터링하고 제어하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 장비에는 또한 고품질의 초저진동 모터 (ultra-low vibration motor) 가 포함되어 있어 진동을 제거하고 랩핑 프로세스의 복잡성을 줄입니다. 이 시스템의 고급 옵티컬 유닛 (Optical Unit) 에는 초고해상도 디지털 카메라와 현미경이 포함되어 있어 샘플을 쉽고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 시스템의 제어 소프트웨어는 강력한 데이터 보고 (Data Reporting) 및 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 툴을 제공하여 프로세스 처리량을 극대화하기 위해 여러 프로세스 매개변수를 동시에 실행합니다. 이것은 공구의 통합 냉각 및 히터 에셋과 함께 단일 (single-crystal) 및 다중 (multi-crystal) 생산에 적합합니다. 전반적으로 AMAT E500SD-B/5는 고정밀도 및 고급 성능을 보장하도록 설계된 올인원 (All-in-One) 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 모델입니다. 이 장비는 비 산화물 결정질 재료의 성장, 단면화 (sectioning) 및 랩핑에 최적화되어 있으며, 사용자에게 탁월한 정확성과 생산성을 제공합니다. 이 시스템의 첨단 마이크로프로세서 기반 제어 장치 (Control Unit) 와 다양한 구성요소 (Component) 는 반도체 연구 및 산업 응용에 적합한 선택입니다.
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