판매용 중고 SEMITOOL Storm 300 #9188340

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제조사
SEMITOOL
모델
Storm 300
ID: 9188340
Wafer cassette cleaner Washer, 12" FOUP Pod FOSB Box 2010 vintage.
SEMITOOL Storm 300은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 박스 세탁기입니다. 이 산업용 박스 세탁기 (industrial box washer) 는 반도체 산업의 구체적인 요구를 충족시키는 강력하고 혁신적인 솔루션을 제공합니다. 스톰 300 시스템은 파편, 미립자, 유기 화합물 등 웨이퍼에서 다양한 오염 물질을 제거하도록 설계된 3 단계 청소 공정으로 구성됩니다. 공정의 제 1 단계는 기판의 입자 수를 줄이는 데 사용되는 고압 스프레이 (high-pressure spray) 를 포함한다. 이 단계에서 사용되는 분무기는 조절 가능하며, 매우 낮고, 매우 높은 압력 수준을 제공합니다. 이것 은 "웨이퍼 '를 철저 히 청소 하고, 내부 의 전자 제품 에 해 를 끼칠 수 있는 입자 를 자유 케 한다. 두 번째 단계 는 회전 하는 "와퍼 '바구니 를 사용 하여" 스프레이 바' 에 연결 시킨다. 이 복잡한 시스템은 웨이퍼 바구니 (wafer basket), 동요 입자 및 파편 전체에 청소 화학 물질을 균일하게 분배하도록 설계되었습니다. 이 동요 로 인하여 입자 가 분해 되고 제거 되고, 화학약품 을 청소 하는 일 은 "바구니 '안 의 물품 에 동시 에 적용 된다. 청소 과정의 3 단계는 일련의 고량 미세 분무기를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 또는 기판에 남아있는 입자를 철거합니다. 이 초미세 안개 (ultra fine mist) 는 분자 수준에서 작용하고 추가 제거를 위해 입자를 캡슐화하도록 설계된 화학으로 기질을 완전히 포용합니다. 이 과정 의 마지막 단계 는 모든 "클리닝 '화학 물질 과 입자 를 적당 히 제거 하기 위한 철저 한" 린스' 와 관련 이 있다. 이것은 잔류 물이없는 효율적인 린스를 제공하는 일련의 저부피 워터 제트 (low-volume water jet) 에 의해 달성됩니다. 전체 "클리닝 '과정 은 특정 한 시간 내 에 완성 되어" 웨이퍼' 를 철저 히 그리고 시기 적절 한 방법 으로 청소 한다. SEMITOOL Storm 300은 다양한 산업에서 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 그것의 고급적이고 혁신적인 청소 과정은 단일 사이클 내에서 웨이퍼 및 기질에서 입자, 파편, 유기 화합물을 제거한다. Storm 300 박스 세척기의 유연성과 능력은 모든 반도체 시설에 완벽하게 추가됩니다.
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