판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9075411

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000은 실리콘 웨이퍼, 레티클 및 유리 슬라이드와 같은 다양한 마이크로 구조의 기판을 처리하는 습식 워크 스테이션입니다. 다용도, 사용자 친화적 장치로, 마이크로 스케일 장치의 제작에 필수적인 3 가지 물리적, 화학적 공정이 결합되어 있습니다. 첫 번째 공정은 습식 (wet) 에칭으로, 미리 정의된 기판 영역에서 원하지 않는 재료를 제거하는 데 사용됩니다. 이것 은 "실리콘 '" 이산화이산화' 및 기타 의 유전체 와 같은 물질 층 을 섬세 하게 제거 하는, 정밀 하게 조종 된 수성 또는 유기 식각 용액 의 "스프레이 '에 의하여 가능 하다. TEL UW-8000 (TEL UW-8000) 은 기판 표면에 에찬트를 최적으로 분배하기 위해 다양한 노즐을 장착하여 퇴적되거나 에칭 된 패턴의 균일성과 무결성을 모두 보장합니다. 두 번째 과정은 습식 청소입니다. 이렇게 하면, 기판 표면 으로부터 "에치 '된 물질 을 안전 하고 효율적 으로 청소 할 수 있게 되어, 추가 처리 할 준비 를 갖추게 된다. 이는 조정 가능한 유동 액체 제트기 (Adjustable-flow liquid jet) 를 사용하여 다양한 스프레이 특성을 생성하여 원치 않는 입자와 기판 표면에서 빌드 업 (build-up) 을 효과적으로 제거하도록 설정할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON UW 8000은 또한 습식 코팅을 용이하게하며, 이는 원하는 재료를 기판에 증착시키는 데 사용됩니다. 이것은 수성 또는 용매 기반 솔루션을 우수한 정밀도로 원하는 기판 위치에 분배하는 특수 설계 노즐 (nozzle) 을 사용하여 달성됩니다. 요약하면, UW 8000은 강력하고 신뢰할 수있는 습식 워크 스테이션 (wet workstation) 으로, 습식 에칭, 습식 클리닝 및 습식 코팅의 3 가지 필수 물리 및 화학 공정을 완벽하게 결합하여 마이크로 스케일 장치의 제작을 허용합니다. 이러한 프로세스를 제어하는 데 있어 사용자 친화적 인 디자인과 타의 추종을 불허하는 손재주 (dexterity) 는 다양한 미세 구조의 기판 응용프로그램을 위한 최적의 선택입니다.