판매용 중고 MODUTEK QA14-DA1 #9081711

MODUTEK Corporation에서 제조 한 MODUTEK QA14-DA1은 다양한 고급 반도체 생산 프로세스에 사용하도록 만들어진 습식 처리 스테이션입니다. QA14-DA1은 200mm ~ 300mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 총 공정 면적은 10,240 평방 인치입니다. 다른 특징으로는 깊이 18 인치의 공정 챔버, 최대 6 개의 카세트를 수용하는로드 포트, 조절 된 가스 분포를위한 가스 박스, 장수명 막 전달 장치 등이 있습니다. 스테이션의 밀봉 된 스테인레스 스틸 디자인은 생산 과정에서 최대 효율성을 보장합니다. 또한 화학 제제, 저항 스트립, 에칭, 청소, 건조 등 다양한 자동 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이로 인해 습식 스테이션은 웨이퍼 제작, 포토 마스크 제작 및 기타 첨단 산업의 응용 분야에 적합합니다. 이 스테이션에는 강력한 단상 펌프 시스템 (single-phase pump system) 이 장착되어 원심과 양의 변위 펌프를 혼합하여 사용합니다. 이 유연한 시스템은 분당 10, 20, 30 및 40 리터의 4 가지 유속으로 화학 물질, 액체 및 기타 재료를 전달 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 공기 동요, 공기 섬프 버블 링, 수력 펄스 동작 등 여러 가지 추가 기능을 제공합니다. 스테이션은 엄격한 폐기물 관리와 사용자 친화력을 제공하도록 설계되었습니다. 일반 폐기물 탱크의 사용, 여러 종류의 폐기물 관리 기능, 폐기물 (waste) 에 대한 지속적인 피드백 (feedback) 등 다양한 폐기물 처리 기능을 지원합니다. 따라서 엄격한 폐기물 관리 프로토콜을 따라야 하는 대용량 웨이퍼 (wafer) 구성 환경에 적합합니다. 습식 스테이션은 또한 빠르고 사용자 친화적 인 운영을 용이하게합니다. 사용자 인터페이스는 사용자 지정 가능한 레시피, 자동 Vital-parameter 모니터링 및 상세한 유지 관리 레코드를 제공합니다. 또한 모듈식 설계로 서비스 및 유지 보수가 용이합니다. 전반적으로 MODUTEK QA14-DA1 (MODUTEK QA14-DA1) 은 강력한 기능과 다양한 성능을 제공하여 다양한 고급 반도체 프로세스에 적합합니다.