판매용 중고 AKRION MP-2000 #9189727

아크리온 MP-2000 (AKRION MP-2000) 은 반도체 생산을위한 플러드 스타일의 습식 스테이션으로, 다른 프로세스 모듈 사이에서 빠르고 쉽게 변경할 수 있도록 설계되었습니다. GAS (Integrated Gas Distribution), 조정 가능한 공구 부착, 효율적인 미디어 제어, 그래픽 사용자 인터페이스로 직관적인 제어, 고급 웨이퍼 제작을 위한 매우 매력적인 습식 스테이션 (Wet Station) 과 같은 다양한 기능을 제공합니다. MP-2000 에는 다양한 클리닝 (cleaning) 및 에칭 (etching) 도구를 사용할 수 있는 조절식 첨부 점이 있는 대형 공구 테이블이 있습니다. 즉, 프로세스를 전환할 때 완전한 공구 변경 (change-over) 을 수행할 필요가 없습니다. 즉, 가동 중지 시간이 줄어들고 생산의 효율성이 향상됩니다. 통합 가스 유통 장비 (gas distribution equipment) 와 클로즈드 루프 (closed-loop) 미디어 전달 시스템의 조합은 또한 최고의 프로세스 안정성과 정확성을 보장합니다. 또한 AKRION MP-2000 은 프로세스 구성 측면에서 엄청난 유연성을 제공합니다. 사용자는 다양한 기판 (기판) 과 생산 목표의 요구를 고려하여 프로세스 흐름 (process flow) 과 시퀀스 (sequence) 를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 직관적인 컨트롤 유닛은 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 설치 마법사 (Setup Wizard) 를 통합하여 사용자가 습식 스테이션에서 최대한 활용하기 쉽습니다. MP-2000 은 또한 Class 1 복구 시스템을 포함하여 클린 룸 (Cleanroom) 환경에 이상적인 여러 안전 프로토콜을 갖추고 있으며, 이를 통해 프로세스 유체의 재순환 및 지출 된 서스펜션의 수집/폐기 (Collection and Disposal) 를 허용합니다. 예방적 유지 관리를 위해, AKRION MP-2000은 습식 스테이션의 성능을 분석하고 잠재적 인 문제를 진단하는 데 사용할 수있는 자체 진단 알고리즘을 특징으로합니다. 따라서 다운타임을 줄이고, 습식 스테이션의 장기적인 신뢰성을 보장할 수 있습니다. 전반적으로 MP-2000 은 다용도, 신뢰성 있는 습식 스테이션으로, 높은 수준의 프로세스 안정성과 유연성을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 통합 가스 분배기 (integrated gas distribution machine), 조정 가능한 공구 부착 (adpachment), 자체 진단 (self-diagnosis) 알고리즘을 통해 사용 및 유지 관리가 용이하여 다양한 반도체 생산 요구에 적합합니다.