판매용 중고 AKRION GAMA #9182626

아크리온 가마 (AKRION GAMA) 는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 다양한 응용 분야를 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 완벽한 자동화, 비용 효율성, 사용자 친화적 솔루션입니다. 습식 스테이션은 최대 생산 속도, 유연성 및 공간 효율성을 위해 설계되었습니다. 모듈식 설계는 다른 석판화 도구 (lithography tools) 와 쉽게 통합 할 수 있으며, 유연한 운송 및 적재 장비는 재료에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 통합 이온 빔 전달 시스템은 현재 사용 가능한 최고 해상도의 이미징을 지원합니다. 스테이션의 전기 화학 가공 공구에는 멀티 존 (multi-zone) 공정 챔버 (process chamber) 가 장착되어 있으며, 고유 한 환경 제어 장치는 가장 정확하고 일관된 전기 화학 증착 결과를 보장합니다. 상부 가공 챔버 (upper processing chamber) 에는 가공소재 홀더가 포함되어 있으며, 하부 챔버에는 반응성 종을 원자로 챔버에 주입하고 공급 제어 회로 (supply control circuitry) 를 공급하는 노즐 배열이 있습니다. 습식 스테이션의 컴퓨터 제어 자동화 시스템은 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다. 각 임무에 대한 프로그래밍 가능한 레시피는 쉽게 리콜하기 위해 도구의 메모리에 저장됩니다. 실시간 모니터링/제어 기능은 전체 프로세스에 대한 정확한 개요를 제공합니다. GAMA 습식 스테이션의 최적화 된 펌핑 도구는 낮은 에너지 소비를 보장합니다. 용매 배출량을 최소화하고 폐기물 예금을 최소화하는 강력한 진공 터빈 (vacuum turbine) 이 특징입니다. "스테인레스 '강철 건설 은" 반도체' 산업 의 엄격 한 안전 요건 을 온전 히 준수 하게 하고, 정교 한 폐수 자산 은 매우 위험 한 물질 을 안전 하게 처리 할 수 있게 해 준다. AKRION GAMA의 습식 스테이션 (wet station) 은 고급 엔지니어링 덕분에 제조업체에 복잡한 마이크로 일렉트로닉 및 나노 전자 장치를 만들 수있는 고급 프로세스 기능을 제공합니다. 업계에서 안정된 성능과 독보적인 품질 (Quality) 을 제공하는 효과적인 툴이라는 것이 입증되었습니다.