판매용 중고 VEECO / DEKTAK AP 150 #161937

VEECO / DEKTAK AP 150
제조사
VEECO / DEKTAK
모델
AP 150
ID: 161937
Automatic resistivity probe Missing display board and one other board.
VEECO/DEKTAK AP 150은 뛰어난 포지셔닝 및 반복 성능 성능을 갖춘 고급 스캐닝 전문가입니다. 이전 모델인 AP100보다 뛰어난 성능을 제공하며, 5 나노 미터의 정확도, 향상된 Z축 이동, 소음 수준 저하 등이 훨씬 높습니다. VEECO AP 150은 고장 분석, 박막 도량형, 표면 특성화 등 다양한 반도체 연구 응용을 위해 설계된 고급 스캐닝 프로버입니다. 향상된 프로세스 제어를 위해 탁월한 위치적 정확성과 반복성 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 프로버에는 통합 스캔 헤드, 고해상도 로터리 인코더, 병렬 위치 지정 단계 및 최대 50mm의 Z축 이동이 있습니다. 이 장비는 고속 모션 컨트롤 시스템 (Motion Control System) 에 의해 구동되어 스테이지의 정확한 모션 제어를 제공하며, 비전 (Vision) 과 정밀 모션 제어 (Precision Motion Control) 옵션을 사용하여 특정 작업에 대한 프로버를 사용자 정의할 수 있습니다. DEKTAK AP-150은 고품질의 저소음 설계로, 신호 대 잡음비를 제공하여 정확성과 감도를 향상시킵니다. 신호 조절 회로는 더 나은 감지 및 낮은 전력 소비를 제공하도록 최적화되었습니다. 유연성을 향상시키기 위해 Prober는 통합 어댑터를 통해 AWG 2 및 AWG 3 Probe와 모두 호환되도록 설계되었습니다. 프로버는 또한 패턴 배치가 정확한지 확인하기 위해 매우 정확한 스캐닝 헤드 (scanning head) 를 제공합니다. 헤드에는 자동 칩 위치와 5 나노미터 해상도의 X, Y 및 Z 축이 있습니다. 옵티컬 피드백 장치는 포지셔닝을 이전보다 빠르고 정확하게 만듭니다. 또한 AP 150에는 기판, 마스크 등 다양한 샘플 미디어를 사용할 수있는 미디어 랙 머신 (옵션) 이 있습니다. 이 랙 도구에는 테스트 중 샘플 안정성을 보장하기 위해 진공 에셋이 장착되어 있습니다. 유연성을 높이기 위해 Prober에는 FORTH 프로그래밍, 12 비트 카메라 지원, 14 비트 디지털 인코더 등 다양한 비전 및 모션 제어 옵션이 있습니다. 전반적으로 DEKTAK AP 150은 장애 분석, 박막 도량형 및 표면 특성에 탁월한 성능을 제공하는 고급 스캐닝 프로버입니다. 이 프로버는 5 미크론 정확도, 향상된 Z축 이동 및 저소음 설계로 감도가 향상되었습니다. 광범위한 비전 (vision) 및 모션 컨트롤 (motion control) 옵션으로 설계되어 보다 뛰어난 유연성과 다양한 예제 미디어에 적합한 미디어 랙 모델을 제공합니다.
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