판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 #19931

NANOMETRICS NanoSpec AFT 180
ID: 19931
웨이퍼 크기: 4", 5"
Thin film measurement system Microspectro photometer head Wavelength range: 480-790 nm Measures from 400A to 40,000A.
NANOMETRICS Nano Spec AFT 180은 고급 공중 이미징 및 자동 결함 검토 기능을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 밝고 어두운 필드 이미징 (field imaging) 과 자동 결함 분류 (automated defect classification) 를 활용하여 크기가 90nm에 불과한 웨이퍼 결함을 신속하게 감지하고 보고합니다. Nano Spec AFT 180은 또한 검사 프로세스의 완전한 자동화 및 추적 기능을 제공하여 쉽고 효율적인 품질 보증을 제공합니다. NANOMETRICS Nano Spec AFT 180의 이미징 기능은 빠른 검사를 가능하게 하는 특허 스캐닝 기술을 기반으로합니다. "센서 '는 수평 방향 과 수직 방향 으로" 웨이퍼' 를 휩쓸고, 고속 으로 "웨이퍼 '의 각 영역 의 여러" 이미지' 를 수집 한다. 이 프로세스는 전반적인 검사 시간을 단축하는 한편, 고품질의 이미징 (imaging) 과 정확한 결함 (defect identification) 을 제공합니다. 이 장치에는 공기 오염 물질을 감지하는 데 사용되는 2 개의 개별 광학 센서가 장착되어 있습니다. 적외선 센서와 가시 광선 센서를 모두 사용하여 Nano Spec AFT 180은 웨이퍼 표면에 있는 입자 (예: 먼지, 먼지, 기타 결함) 를 감지할 수 있습니다. 그 결과, 오염 의 발생 가능성 이 있는 모든 근원 이 신속 하고 정확 하게 확인 되고 보고 된다. 이미지 처리 기능 외에도 NANOMETRICS Nano Spec AFT 180은 자동 결함 검토를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 추가 검사 (Exparation) 가 실제로 수익률 (Yield) 이나 성능 (Performance) 에 대한 위험을 초래할 수 있는 기반 (Based) 만 제공하도록 결함을 자동으로 분류하고 심각도 수준을 할당할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 소프트웨어 패키지 (advanced software package) 를 갖추고 있는데, 이를 통해 운영자는 검사 프로세스의 결과를 빠르고 쉽게 검토하고 분석 할 수 있습니다. 전반적으로 Nano Spec AFT 180은 신뢰할 수있는 이미징, 자동 결함 검토, 검사 프로세스의 완전한 추적성을 제공하는 강력한 웨이퍼 검사 도구입니다. 이 자산을 통해 제조업체는 웨이퍼 결함 (wafer defect) 과 공수 오염 물질을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있으며, 효율적인 품질 보장 (quality assurance) 을 유지할 수 있습니다.
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