판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9182330

ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 장치 제조 및 테스트를 위한 동급 최고의 솔루션입니다. 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능으로, 제조 과정에서 기판과 웨이퍼의 품질을 정확하게 측정하고 모니터링할 수 있습니다. ADE UltraGage 9520 은 업계 최고의 해상도와 반복 기능을 제공합니다. KLA UltraGage 9520은 3D 레이저 간섭계를 사용하여 웨이퍼 당 최대 10,000 특성을 실시간으로 측정합니다. 이 장치는 전체 웨이퍼를 가로 질러 ± 5 äm의 웨이퍼 위치 정확도 (wafer location accuracy) 로 접촉하지 않는 표면 스캔을 할 수 있습니다. 측정 데이터는 데이터베이스에서 캡처, 저장되며, 이를 통해 사용자는 필요에 따라 결과를 분석하고 프로세스를 조정하여 고품질 (High Quality) 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 TENCOR UltraGage 9520 은 여러 프로세스를 병렬로 제어하여 테스트 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 예를 들어, 프로세스의 압력과 온도를 정확하게 제어하도록 구성할 수 있으며, 균일성 (unifority), 두께 (thickness), 웨이퍼 모서리 정렬 (wafer edge alignment) 및 기타 특정 피쳐에 대한 매개변수를 감지하고 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 사용자 정의 가능한 테스트 프로토콜, 자체 교정, 결정질 및 비 결정질 실리콘, 질화 갈륨, 탄화 실리콘 등 다양한 기질 물질을 측정 할 수 있습니다. 또한 UltraGage 9520에는 부분 웨이퍼 이미징 도구 (Partial Wafer Imaging Tool) 를 포함한 여러 고급 광학 패키지가 포함되어 있어 해상도가 높고 기판 결함의 정확성이 높아집니다. 이 자산에는 초당 최대 10 메가비트의 데이터를 전송할 수있는 고속 USB 광 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이 기능은 측정을 보고 처리 매개변수를 조정하는 데 걸리는 시간을 대폭 단축합니다. ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520은 세계적 수준의 정확성과 반복성을 제공하여 제조업체가 이전 어느 때보 다 기판 특성을 식별하고 특성화할 수 있습니다. 이 탁월한 정밀도를 통해 사용자는 기판의 품질을 향상시키고 생산량을 높일 수 있습니다 (영문). 더욱이, 이 모델은 많은 양의 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리 할 수있는 반면, 고급 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 는 긴 테스트 주기 동안 사용자의 편안함과 사용 편의성을 보장합니다.