판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9700 #9184638

ADE/KLA/TENCOR 9700은 고속 및 다중 채널 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. wafer geometry 및 surface 기능을 테스트하는 다양한 기능을 제공합니다. ADE 9700 은 Wafer 의 신속한 인라인 (in-line) 측정을 가능하게 하며 이러한 테스트를 수행할 수 있도록 다양한 광, 전기 및 기계 서브시스템을 포함합니다. KLA 9700 시스템의 핵심에는 강력하고 다재다능한 전력 및 도량형 전자 장치가 있습니다. 최대 3개의 동시 전원 공급 장치가 장착된 고출력 발전기 (고출력) 를 통해 채널당 최대 250W 까지 공급할 수 있습니다. 또한 최대 300MHz 대역폭의 고이득 12비트 A/D 컨버터도 통합되었습니다. 이것은 8 비트 D/A 컨버터 및 펠티어 냉각 장치와 결합됩니다. 이 장비를 사용하면 기계를 독립형 테스트 스테이션 (Standalone Test Station) 으로 사용하거나 외부 장비 (External Equipment) 와 상호 작용하여 고급 로봇 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 TENCOR 9700에는 x, y 및 z축 이동의 정밀 제어를 위한 매우 정확한 나노 단계 도구가 포함되어 있습니다. 4 축 나노 단계 에셋은 선형 모터를 사용하여 응답 시간이 빠르고 정확도가 높습니다. 이를 통해 모델은 마이크론 (micron) 레벨 해상도로 웨이퍼의 기하학적 피쳐를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 9700 장비에는 자동 광학 현미경도 있습니다. 이 8 메가 픽셀 카메라는 웨이퍼 표면의 기능을 최대 0.5 미크론의 정확도로 감지 할 수 있습니다. 서피스 측정 및 지형 분석에 사용할 수 있으며, 서피스 피쳐를 신속하게 검사할 수 있습니다. 또한 ADE/KLA/TENCOR 9700 에는 광범위한 측정 및 분석이 가능한 통합 소프트웨어 모듈 모음이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 평탄도, 거칠기, 깊이, 저항성을 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 실시간 피드백을 제공하여 사용자에게 적절한 의사 결정을 내릴 수 있습니다. 또한 지형, 반음계 이미지, FD-LIBS 스펙트럼 및 원자력 마이크로 그래프를 포함한 파라 메트릭 이미지를 분석 할 수 있습니다. ADE 9700은 웨이퍼에 대한 테스트 및 도량형을 위한 강력하고 효율적인 장치입니다. 혁신적이고 정확한 모듈의 어레이와 결합된 고속 (High Speed) 및 다중 채널 (Multi-Channel) 기능을 통해 웨이퍼 형상과 서피스 피쳐를 신속하고 정확하게 측정할 수 있습니다.