판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9186108

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ADE / KLA / TENCOR 9500
판매
ID: 9186108
Wafer measuring system Dual loader system.
ADE/KLA/TENCOR 9500은 유명한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 정확하고 안정적인 웨이퍼 특성화 및 도량형 데이터를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 표면 도량형 기능으로 보완 된 포괄적 인 평면 웨이퍼 측정을 도입합니다. 이 장치는 주 스캔 장치 (Main Scanning Unit) 와 이에 연결된 여러 개의 추가 장치로 구성됩니다. 주 단위는 스캐닝 장치 (scanning unit) 로, 센서를 가로 질러 웨이퍼를 움직이는 정밀 모터 스테이지 (precision motorized stage) 를 포함하고, Z- 스테이지는 웨이퍼 기하학에 반응하여 전자 빔 기계의 초점을 수정합니다. optics 장치를 사용하면 다양한 배율로 이미지를 얻을 수 있습니다. 주 스캐닝 장치에는 웨이퍼 평면 표면을 측정하는 정전 용량 센서가 있습니다. 이러한 센서는 매우 민감하고 정확합니다. 또한, 이 도구에는 기능을 향상시키는 몇 가지 다른 구성 요소가 있습니다. 타원계는 굴절률 (refractive index) 이나 소멸 계수 (extinction coefficient) 와 같은 다양한 광학적 특성을 측정합니다. 자동 웨이퍼 매핑 에셋은 표면에 대한 자세한 지형 개요를 얻기 위해 wAFM (Atomic Force Microscopy) 을 스캔하는 데 사용됩니다. 이 모델의 내장형 소프트웨어는 직관적이고 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 장비의 소프트웨어에 액세스할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 강력한 데이터 처리 기능을 제공하여 매개변수 측정 및 분석을 수행합니다. 이 소프트웨어는 통계 데이터에서 그래픽 프레젠테이션에 이르기까지 다양한 유형의 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 시스템은 Windows Operating Unit을 사용하여 모든 PC에서 실행할 수 있으므로 유연성을 제공합니다. ADE 9500 기계는 매우 정확하고 다재다능합니다. 건설 선택은 정확한 결과를 통해 빠르고 쉽게 측정할 수 있습니다. 그것의 광범위한 능력과 정밀성 (precision) 은 고급 도량형이 필요한 모든 실험실에서 훌륭한 선택입니다. 이 도구를 사용하여 연산자는 정확도와 정밀도가 우수한 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 서피스를 쉽게 특성화할 수 있습니다.
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