판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9181679

ADE/KLA/TENCOR 9500은 고성능 집적 회로, MEMS 및 기타 고급 기술 장치의 생산을 촉진하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술과 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스를 결합합니다. ADE 9500의 최첨단 광학 도량형 장치는 전례없는 0.1 나노 미터 해상도로 집적 회로 및 MEMS 장치의 임계 크기 (CD) 를 측정합니다. 이 기계는 공백 현미경 및 산란 측량 (scatterometry) 을 사용하여 피쳐 크기를 정확하게 감지하고 나노미터 수준까지 모양을 만듭니다. 이 도구는 또한 선 프로파일링, 오버레이 측정, 명암비 개선 등 결함 및 실패 분석을 위한 포괄적인 고급 이미징 도구 (advanced imaging tools) 를 제공합니다. KLA 9500의 강력한 측정 자산은 커패시턴스 (capacitance), 저항 (resistance), 누출 전류 (leakage current) 와 같은 복합 전기 측정을 제공 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 웨이퍼 특성화 및 최적화를 위해 빠르고 정확한 웨이퍼 매핑 및 평탄도 측정을 제공합니다. 9500의 통합 열 제어 (Integrated Thermal Control) 는 온도 변동의 영향으로부터 정확한 측정을 자유롭게합니다. TENCOR 9500의 결함 및 실패 분석 장비는 결함 및 실패 분석을위한 직관적인 워크플로를 제공합니다. 이 시스템은 입자, 지형 특징 및 1 나노 미터만큼 작은 외국 오염 물질을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 오염 된 웨이퍼를 빠르게 이미지화하여 잘못 처리 된 IC 또는 MEMS 구조를 신속하게 식별 할 수 있습니다. 마지막으로, ADE/KLA/TENCOR 9500의 탁월한 사용 편이성, 포괄적인 분석 및 측정 툴은 연구/생산 웨이퍼 테스트 및 도량형 모두에 유용한 툴입니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 다양한 자습서 및 데모 (데모) 를 통해 학습 곡선을 최소화하고 생산성을 극대화할 수 있습니다. 수집된 데이터가 정확하고 신뢰할 수 있다는 확신과 확신이 더해지면서, ADE 9500 (ADE 9500) 은 모든 반도체 제조업체에게 귀중한 것으로 판명되었습니다.