판매용 중고 ACU-GAGE AG24-2-LM2 #9138502

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ID: 9138502
Systems.
ACU-GAGE AG24-2-LM2는 고급 통합 테스트 및 계측 장비입니다. 그것 은 표준 "웨이퍼 '에서" 마이크로' 전자 제조 에 사용 되는 특수 "실리콘 웨이퍼 '에 이르기 까지 여러 종류 의" 웨이퍼' 를 정확 하게 측정 하도록 설계 되었다. 이 시스템에는 자동화된 오른쪽 위 현미경, 정밀 공구 및 24 점 측정 장치가 있습니다. 서피스 형태, 깊이, 두께 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. AG24-2-LM2에는 0.5 미크론 정확도 내에서 측정 할 수있는 24 인치 광학 현미경이 장착되어 있습니다. 이 기계는 결함 또는 결함을위한 웨이퍼를 측정하기 위해 자동 로봇 공구 (automated robotic tooling) 도구를 사용합니다. 공구 에셋은 CCD 카메라, 포커스 링, 현미경 목표 및 조명원 인 4 가지 주요 도구로 구성됩니다. "CCD 카메라 '는 광시야 를 가능 케 하고, 초점" 링' 은 현미경 의 초점 평면 을 변화 시키는 데 사용 된다. "마이크로스코프 '의 목적 은 다양 한 확대" 옵션' 을 허용 하는 반면, 조명기 "소오스 '는" 카메라' 에 고대비 의 "이미지 '를 제공 하는 데 사용 된다. 이 모델에는 다른 웨이퍼를 측정하는 24 점 측정 장비도 있습니다. 이 24 점 측정 시스템은 4 개의 접촉 프로브 암을 사용하여 웨이퍼 표면과 접촉합니다. 4 개의 접촉 프로브 암은 웨이퍼에서 24 개의 서로 다른 지점을 동시에 측정하여 웨이퍼 표면의 정확하고 상세한 프로파일을 제공합니다. 이 장치에는 통합 소프트웨어도 포함되어 있으며, 실시간 데이터 분석 및 각 프로브의 위치를 0.5 미크론 (0.5 미크론) 이내로 기록할 수 있습니다. ACU-GAGE AG24-2-LM2에는 웨이퍼 조작을위한 2 개의 정밀 조작기가 장착되어 있습니다. 조작기의 정밀도는 300nm이며, 정밀한 측정을 위해 다양한 움직임과 각도 조정이 가능합니다. 이 기계는 또한 고도의 압력 도구를 갖추고 있습니다. 이 압력 에셋은 프로브의 압력을 조정하여 웨이퍼의 두께 (thickness), 서피스 텍스처 (surface texture) 또는 기타 특성을 측정할 수 있습니다. AG24-2-LM2는 복잡한 웨이퍼 형상을 측정하기 위해 설계된 고급 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비에는 여러 가지 통합 부품 (integrated component) 이 있어 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 매우 자세히 측정하는 데 이상적입니다. 통합 소프트웨어, 정밀 공구, 24 포인트 측정 시스템 및 조절 가능한 압력 장치는이 기계가 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적입니다.
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