판매용 중고 NIKON NSR 204B #9137591

NIKON NSR 204B는 이미징 웨이퍼를 위해 반도체 생산에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 한 번 노출 되면 "와퍼 '위 에 있는" 레티클' 에서 포토레지스트 '로 "패턴' 을 옮길 수 있는 단계 와 반복 장치 로 작동 한다. NIKON NSR-204B 는 생산량 및 주행 효율성을 향상시키는 여러 가지 설계상의 이점을 자랑하며, 디바이스 프로토타입 (prototyping) 및 운영 애플리케이션 모두에 적합합니다. 시스템은 CCD 라인 센서를 이미지 검출기로 사용하며, 서브 미크론 (sub-micron) 배치 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 따라서 정확한 위치가 필요한 고밀도 논리 (logic) 및 메모리 장치 (memory device) 애플리케이션에 적합합니다. 이 기계는 또한 이상적인 이미지 적용 범위에 대한 초점이 넓습니다. 배치 오류를 최소화할 수 있는 높은 광학 대역폭 (optical bandwidth) 과 활성 정렬 단위 (active alignment unit) 를 통해 광학 경로를 최적화할 수 있습니다. NSR 204에는 또한 NIKON ACI (Actively Controlled Immersion) 머신이 장착되어 있으며, 렌즈 침수 매개변수를 자동으로 최적화하여 해상도와 초점 깊이를 향상시킵니다. 이렇게 하면 이미지가 정렬된 웨이퍼 (wafer) 를 가져갈 때에도 이미지에 초점을 맞출 수 있습니다. NSR 204B 는 APC 메커니즘을 포함하는 자동 웨이퍼 처리 툴 (automated wafer handling tool) 을 자랑합니다. 이 도구는 웨이퍼 크기와 모양을 기준으로 정렬 표시를 자동으로 설정할 수 있습니다. 또한 수동 정렬 없이 웨이퍼-투-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 성능을 제공하므로 대용량 반도체 생산에 적합합니다. 또한, NSR-204B에는 통합 프로세스 모니터링 도구가 장착되어 있으며, 이 도구는 저항 두께 및 온도, 웨이퍼 처짐 (wafer sag) 및 진동 (vibration) 의 변화를 감지 할 수 있습니다. 이렇게 하면 생산 전 에 결함 이 있는 "웨이퍼 '가 탐지 되어 값비싼 재작업 이나 낭비 를 피할 수 있다. 전반적으로 NIKON NSR 204B는 다양한 대용량 운영 애플리케이션에 적합한, 고급적이고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 정확하게 조정 된 광학 장치, 자동 정렬 및 처리 (automated alignment and handling) 및 통합 프로세스 모니터링은 고급 마이크로 일렉트로닉 장치를 생산하는 데 이상적입니다.