판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9003511

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper는 반도체 회로 및 부품을 생산하기위한 매우 다양하고 정확한 웨이퍼 리소그래피 장비입니다. 이 기계는 라인/공간 패턴 해상도가 22nm 인 고급 장치 구조를 생성 할 수 있으며, 단일 샷에서 8 인치 (8 인치) 의 영역을 커버 할 수 있습니다. NIKON NSR2005I9C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 최신 고정밀 이미지 프로젝션 옵틱으로 구동되며, 기존의 리소그래피 시스템에 비해 뛰어난 해상도와 초점 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 주 제어 장치 (main control unit), 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 및 광원 (light source) 의 세 가지 주요 단위로 구성됩니다. 주 제어 장치 (Main Control Unit) 에는 웨이퍼의 이미지와 데이터를 제어하고 처리하기 위해 필요한 모든 소프트웨어/하드웨어 구성 요소가 포함되어 있습니다. 구성 요소에는 컨트롤러, 컴퓨터, 모니터 및 네트워킹 장치가 포함됩니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장치에는 장치 내에서 웨이퍼를 정확하게 재배치하고 리소그래피 용도로 정확하게 배치하는 데 필요한 모터와 광전자가 포함되어 있습니다. 또한 스테이지 테이블 (stage table) 과 웨이퍼 (wafer) 와 광학의 방향을 제어하는 컨트롤러 보드가 포함되어 있습니다. 광원은 웨이퍼 표면에 이미지를 생성하기 위해 필요한 광학 방사선 (optical radiation) 을 제공합니다. NSR-2005I9C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 사용자 친화적 인 시스템 제어를 위한 GUI (Graphical User Interface) 와 웨이퍼 데이터 저장, 관리 및 제어를 위한 고급 입자 이미징 데이터베이스가 포함되어 있습니다. 또한 GUI는 리토그래피 (lithography) 도구에 이미지 데이터를 수동으로 편집하고 주입하는 데 사용할 수 있습니다. NSR 2005-I9C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 전체 리소그래피 프로세스에서 부드럽고, 안정적이며, 정확한 성능을 제공할 수 있는 매우 정확하고 안정적인 웨이퍼 스테이지로 설계되었습니다. 이 자산에는 고급 Optic이 내장된 고급 옵티컬 모델 (Optical Model) 도 포함되어 있어 뛰어난 화질을 제공합니다. 또한 NSR 2005 i9C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 기판을 정확하게 찾아서 마스크를 정렬하고 웨이퍼에서 패턴을 찾을 수있는 고정밀 정렬 장비가 장착되어 있습니다. 이것 은 5 "미크론 '의 거리 에서도" 마스크' 의 가장자리 나 모서리 를 정확 히 찾아낼 수 있음 을 의미 한다. 또한 고가의 교정 없이 빠른 동작 (rapid operation) 과 고정밀도 웨이퍼 동작 (wafer motion) 을 제어할 수 있는 고속 드라이브 메커니즘이 특징입니다. 마지막으로 NSR 2005I9C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 가열식 챔버 및 고급 온도 조절 시스템으로 설계되어 스테퍼 내부의 정확한 온도 설정과 안정화를 지원합니다. 이를 통해 환경 및 가속 요인이 최소화되어 반도체 (반도체) 장치 생산의 품질을 최적화할 수 있습니다.