판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9096007

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ID: 9096007
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
I-Line stepper, 8" Reticle microscope : Fixed HP LASER : 5517B LSA LASER : 5mW ITV Camera : Nikon original type OF Detection type : Nikon original type Wafer loader type : A1 Wafer carrier table : Left Reticle size : 6inch FIA PD Extension LIB Rack type : Left 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C는 정밀 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 고급 옵틱, 최첨단 소프트웨어, 고급 정렬 기술을 활용하여 반도체 업계를 위한 고성능 결과를 제공합니다. NIKON NSR i10C에는 NIKON ALS (Advanced Lens Equipment) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 해상도와 이미지 품질이 향상된 고성능 렌즈를 통합했습니다. 또한 ALS는 향상된 광 전송, 더 나은 균일성 및 명암비, 더 빠른 응답 시간을 제공합니다. 또한 ALS는 낮은 수차, 최적화된 필드 곡률, 낮은 진동 및 자동 정렬을 제공합니다. NIKON NSR i10C는 고급형 웨이퍼 정렬 장치 (Wafer Alignment Unit) 를 갖추고 있어 수차의 정확한 보정을 정확하게 측정합니다. 이 기계는 우수한 패턴 배치 및 오프 센터 등록을 최소화합니다. NIKON 광학 줌 정렬기는 연산자에게 정확한 샷 투 샷 오버레이 (shot-to-shot overlay) 를 제공하여 NIKON NSR i10C의 성능을 더욱 향상시킵니다. NIKON NSR i10C는 또한 마스크, 기판, CR 도구 데이터를 완벽하게 통합하는 e-Stepper 모듈을 포함한 고급 이미지 소프트웨어를 제공합니다. e-Stepper 모듈은 최적의 정확도, 속도, 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 패턴 데이터를 조작할 수 있는 강력한 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 또한 NIKON NSR i10C에는 고급 프로세스 모니터링 기능이 있습니다. 향상된 프로세스 창 (Enhanced Process Window) 은 조정 및 노출 프로세스 성능을 실시간으로 모니터링하여 사용자가 프로세스 전환에 신속하게 대응할 수 있도록 합니다. 이 기능을 사용하면 개발 및 프로덕션 프로세스 제어 과정에서 제어 매개변수 (control parameter) 를 최적화할 수도 있습니다. NIKON NSR i10C 는 photomask 프로세스를 완벽하게 최적화하고 최고 (-) 패턴 배치 정확도와 이미지 품질을 보장하는 기능을 제공합니다. 고급 조정기 (Advanced Aligner) 를 사용하는 매우 정확한 광학 자산에서 강력한 이미지 소프트웨어 및 프로세스 모니터링 기능에 이르기까지, NIKON NSR i10C 는 정밀 사진 촬영 어플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 솔루션입니다.
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