판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7 #9016034

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NIKON NSR 1505 G7
판매
ID: 9016034
웨이퍼 크기: 2"-6"
Wafer stepper, 2"-6".
NIKON NSR 1505 G7은 가장 발전된 반도체 생산에 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. G7 시리즈는 최첨단 옵틱 (optic), 조명 (illumination), 모션 제어 (motion control) 기술을 통해 높은 정확성과 높은 처리량을 제공하는 차세대 장비입니다. 나노 스케일 샷 (nano scale shot) 크기와 매우 얇은 오버레이 정확도를 제공하여 최신 반도체 회로 설계에 이상적입니다. 또한 가장 까다로운 패턴화 프로세스 (patterning process) 를 지원하므로 모든 칩의 가장 작은 기능을 완벽하게 제작할 수 있습니다. NIKON NSR 1505G7의 높은 숫자 조리개 (NA) 는 0.65이고 최대 해상도는 0.13 마이크로 미터입니다. 이 시스템은 또한 532mm x 532mm 크기의 대형 (full-featured) 노출실을 갖추고 있으며, 시간당 최대 500 개의 노출 처리량을 달성 할 수 있습니다. 이 장치는 NIKON 고유 한 고급 조명기 (advanced illumination machine) 와 동축 및 오프 축 조명 기술을 결합하는 고급 광학 도구를 사용합니다. 자가 보정 기능을 통해 자산은 기계, 열, 광학 드리프트에 대한 보정을 할 수 있습니다. 모델의 반복 속도 (repetition rate) 는 세분화 단계로도 조정될 수 있으며, 이를 통해 처리 정밀도가 가장 높습니다. NSR 1505 G7 (NSR 1505 G7) 은 운영이 쉽고 효율적으로 이루어질 수 있도록 다양한 최신 기능을 갖추고 있습니다. 기본 제공 레시피 지원 (BIST) 장비는 모든 프로세스 매개변수를 함께 저장하여 보다 빠른 액세스와 간편한 운영을 보장합니다. 시스템에 실시간 이미지 검사 장치 (Real Time Image Inspection Unit) 가 장착되어 있어 웨이퍼의 라이브 이미지를 표시하고, 노출 과정을 시작하기 전에 모든 프로세스 조건이 충족되는지 확인할 수 있습니다. 또한 NSR 1505G7 은 최고 수준의 데이터 보호 및 보안 기능을 제공하는, 매우 안전한 scan-in 시스템을 갖추고 있습니다. 인상적인 기술 기능 외에도 NIKON NSR 1505 G7은 친환경적인 도구입니다. 에너지 효율 LED 조명은 가동 중 에너지 소비를 줄이고, 기계와 부품 모두의 수명 (수명) 을 보장합니다. 또한, 자산은 자동 유지 관리 (automatic maintenance) 기능을 제공하여 운영자의 개입을 줄이고 모델의 수명 및 성능을 연장하는 데 도움이 됩니다. 니콘 NSR 1505G7 (NIKON NSR 1505G7) 은 최신 반도체 회로 설계를 지원하는 최첨단 옵티컬, 조명, 모션 제어 기술을 갖춘 최고의 반도체 제조 프로세스에 적합합니다. 또한 안정성, 성능, 사용자 친화적인 장비로, 가장 정밀하고 정확하게 최첨단 제작 (fabrication) 프로세스를 구현할 수 있습니다.
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