판매용 중고 CANON FPA 3000 EX3 #9092577

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CANON FPA 3000 EX3
판매
ID: 9092577
빈티지: 1997
Stepper 1997 vintage.
CANON FPA 3000 EX3는 고급 반도체 마이크로 칩 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 반도체 마이크로 칩 생산에서 리소그래피 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. FPA 3000 EX3 는 최대 5nm 의 해상도를 제공하며, 매우 정밀도가 높아 칩 생산 프로세스에서 최고 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 달성할 수 있습니다. 매우 낮은 결함 비율로 분당 최대 20 개의 칩을 처리할 수 있습니다. 또한 CANON FPA 3000 EX3는 초점 심도를 30% 줄이고 이미지 정확도를 두 배로 늘리는 고급 이미지 수정 장비를 사용합니다. FPA 3000 EX3 는 생산성을 극대화하고 비용을 최소화하는 다양한 다른 기능을 제공합니다. 고유한 ATM (Auto-Tuning Mag) 시스템은 리소그래피 프로세스 매개변수를 즉시 최적화하는 반면, 내장 ADD (Automatic Defect Detection) 장치는 이미징 프로세스가 시작되기 전에 이미지를 자동으로 실시간으로 검사합니다. 이렇게 하면 기계 의 전반적 인 정확도 와 민감도 가 높아지고, 수작업 (manual retouching) 과 이미지 편집 (editing) 의 필요성 이 줄어든다. 또한 CANON FPA 3000 EX3에는 다양한 고성능 구성 요소가 장착되어 있어 성능 및 효율성을 극대화할 수 있습니다. 5 메가 픽셀 CCD 카메라, 광학적으로 올바른 280mm F/2.8 렌즈 및 안정적인 작동 및 매우 정밀한 정렬을위한 고급 5 축 정렬 머신으로 제작되었습니다. 고급형 전력 및 냉각 시스템은 최적의 온도 조절 (temperation control) 을 보장하며, 강력한 진동 감쇠구조 (dampening structure) 를 통해 모든 종류의 환경에서 작동 할 수 있습니다. 다른 시스템과의 데이터 전송을 용이하게 하기 위해 FPA 3000 EX3에는 Gigabit Ethernet LAN 인터페이스와 이중 2.5Gb 서비스 포트 (옵션) 도 포함되어 있습니다. 향상된 프로세스 제어 기능과 함께 CANON 독점 E-DAQ 소프트웨어에 대한 완전한 지원이 제공되는 CANON FPA 3000 EX3 은 리호그래피 애플리케이션을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. FPA 3000 EX3 는 탁월한 수준의 정확성, 반복성, 생산성을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 부품, 고급 이미지 수정 (Advanced Image Correction) 및 자동 결함 감지 시스템 (Automatic Defect Detection Systems) 을 통해 하이엔드 반도체 마이크로칩 제작 프로세스에 적합합니다.
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