판매용 중고 CANON FPA 2000 i1 #100914

CANON FPA 2000 i1은 고정밀, 광학, 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 복잡한 반도체 구조 또는 집적 회로 (IC) 의 생산에 사용됩니다. 나노미터 (nanometer) 정밀도로 매우 정확한 패턴과 구조를 제공 할 수있는 업계 표준 장비입니다. 이 시스템에는 i-line 투영과 405nm (반사 모드 오프 축) 조명 소스가 장착되어 있습니다. 이 조합은 파장의 광선 투과 반사 능력으로 인해 매우 정밀하고 작은 반사 (small spot size) 를 제공합니다. 이 플랫폼은 또한 매우 민감한 3 카메라 자동 정렬 및 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 기능은 다양한 장치 형상과 구성을 정확하게 정렬하고 제어하는 데 사용되며, 이를 통해 정확한 패턴화 (patterning) 와 마스킹 (masking) 을 수행할 수 있습니다. 스티퍼의 고정밀 스테이지 머신 (stepper's high-precision stage machine) 을 사용하면 연산자가 정확한 패턴화를 위해 장치를 정확하게 조정하고 배치할 수 있습니다. 이것은 정확하고 전방향적인 모션 컨트롤러 (motion controller) 의 도움으로 이루어지며, 이는 모든 조정의 속도와 정확성을 제공합니다. NPF (Numerical Proximity Focus) 기능을 사용하면 장치를 신속하게 정렬하고 초점을 맞출 수 있으므로 정확도와 처리량이 더욱 향상됩니다. CANON FPA2000-I1은 정교한 노출 및 저항 제어 체계를 사용합니다. 이 체계는 PWM (pulse-width modulation), 백사이드 노출 및 장기 노출과 같은 다양한 노출 기술을 결합하여 정확한 패턴 화 결과를 보장합니다. 또한 전체 디지털 프로토타입 (prototyping) 환경을 지원하여 빠른 설계 시뮬레이션과 최적화를 지원합니다. 이 자산은 단단한 공차 (Tolerance) 와 뛰어난 표면 정확도 (Surface Accuracy) 를 갖춘 매우 정밀한 패턴이 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. FPA-2000I1 은 고해상도 검사기 보드 (optical model) 를 제공하여 운영자가 장치 패턴을 검사하여 정확성과 결함을 검사할 수 있습니다. 또한 쇼팅 (shorting), 브리징 (bridging), 오정렬 (misalignment) 과 같은 심각한 결함을 자동으로 감지할 수있는 4 점 이미지 측정 장비가 있습니다. 이 시스템은 진단 (Diagnostics) 및 성능 최적화 도구 (Performance Optimization Tools) 등 다양한 성능 모니터링 도구를 추가로 제공합니다. CANON FPA 2000 I 1 웨이퍼 스테퍼는 나노 미터의 정확성과 신뢰성을 갖춘 정확한 패턴을 제공 할 수있는 강력하고 정밀도가 높은 생산 플랫폼입니다. 매우 정확한 모션 컨트롤러 (Motion Controller), 광학 및 저항 제어 (Optical and Resist Control), 성능 모니터링 툴을 결합하여 작업 크리티컬 어플리케이션에 이상적인 플랫폼이 됩니다.