판매용 중고 ASML XT 1250D #9192070

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ASML XT 1250D
판매
제조사
ASML
모델
XT 1250D
ID: 9192070
ARF Scanner.
ASML XT 1250D는 반도체 산업의 사진 해설에 사용되는 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. XT 1250D (XT 1250D) 는 매우 높은 수준의 디테일과 균일성을 가진 회로를 생산할 수있는 레이저 기반 이미징 시스템입니다. ASML XT 1250D에 사용되는 레이저는 최대 전력 등급이 200 와트 인 고출력 아르곤-플루오 라이드 (ArF) 엑시머 레이저입니다. 이렇게 하면 기계 는 3 "나노미터 '미만 의 해상도 로 명백 하고 일관성 있는" 이미지' 를 만들 수 있다. 아르곤-플루오 라이드 레이저 (argon-fluoride laser) 덕분에 XT 1250D는 다양한 마스크 재료를 지원하고 유기 및 무기 모두 저항을 지원할 수 있습니다. ASML XT 1250D에는 X-Y 스테이지와 최대 4 개의 디플렉터 옵틱이 장착되어 있으며이 웨이퍼 스테퍼를 정확하게 배치하고 대상 웨이퍼를 노출 할 수 있습니다. 이러한 광학 덕택에, 노출 필드 크기는 최대 21 인치까지 될 수 있습니다. 이 기계는 또한 X-Y 스테이지에서 웨이퍼를 정확하게 정렬하기 위해 5 개의 개별 카메라와 자동 정렬 (automated alignment) 을 지원합니다. XT 1250D (XT 1250D) 는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 이미징 시스템이지만, 실제로 눈에 띄는 것은 이미징 품질입니다. ArF 레이저는 포기 스테퍼가 최고의 5nm의 임계 차원 (CD) 정확도를 달성 할 수 있도록 집중된 빔 스팟 직경 (832) 을 갖습니다. 또한, ASML XT 1250D는 시간당 최대 2,800 개의 웨이퍼를 처리하고, 단일 웨이퍼의 경우 주기 시간은 6 초 미만으로 매우 효율적입니다. XT 1250D는 사용자 친화적으로 설계되었으며, 업계 표준 SCADA (Supervisory Control and Data Acquisition) 시스템과 호환됩니다. 이렇게 하면 기계 를 "프로덕션 라인 '이나 다른 어떤 형태 의" 포토리스토그래피' 과정 에 쉽게 접합 시킬 수 있다. 결론적으로, ASML XT 1250D는 최고 수준의 웨이퍼 스테퍼로, 뛰어난 이미징 정확성, 신뢰성, 매우 저렴한 가격표와 함께 제공되는 인상적인 처리량을 제공합니다. 이런 이유로, 그것은 극도의 정확성과 디테일을 가진 회로를 생산하는 데 가장 적합한 선택 중 하나입니다.
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