판매용 중고 ASML XT 1250 #9191912
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판매
ID: 9191912
웨이퍼 크기: 8"
Stepper, 8"
Wafer type: Notch
Laser model: GIGAPHOTON GT42A4 (20W)
Laser type: GIGAPHOTON Laser
FAT Attendance
OIU / Reticle wafer aux port: Left configuration
CSR's for XT1250B various: CSR 7603
FOUP Machine door sensor: No
PPD IRIS (CSR): No
CSR (AT Multilingual UI): No
Pellicle safeguard (CSR): No
CSR (LS M2M P2P): No
Active contrast control: No
Quasar: No
WH Carrier interface: (25) Wafers open cassette kit
Wafer track interface: SOKUDO RF3/200
Mark sensor
Integrated reticle library: No
IRIS-6 Inch reticles twinscan: No
DOE ID12 Low sigma
DOE MP2 35-X: No
DOE MP2 35-Y: No
DOE ID5 MP4 30-45: No
DOE ID2 MP4 20-45: No
Reticle CIDRW (Tag reader): No
FOUP Lockout system: No
DOE ID6 High sigma
Chuck dependent correction (CSR): No
Image streaming: Standard
Second laser paddle: No
CD-FEC: Standard
Lithoguide ILIAS: Standard
Wafer ID reader: No
MDL View: Site view
Athena narrow marks: Standard
Reticle barcode reader
Focus spot monitor: Standard
Reorder lot service: No
UNIVERSAL Prealignment: No
Recipe creator
Quasar XL: Standard
Automated reticle transport: No
Lot overhead reduction: LOR-2 / Standard
Machine specification for SWkey: B
Quasar XL: Standard
Dose mapper: Standard
Top package: Standard on XT:1400 (Top 2)
PEP for AT 1200B: No PEP package
DOE ID28 MP5 Soft quasar: No
DOE ID18 MP2 40-Y: No
DOE ID19 MP2 40-X: No
DOE ID31 MP4 40-45: No
DOE ID14 MP4 60-45: No
DOE ID21 MP4 45: No
EFESE: No
CSR L1L7 Type_1: No
ASF LS area extension: No
DOE ID9 MP4 20: No
IRIS Feature scan: No
Reticle shape correction
Twinscan wafer switch
DOE ID8 MP2 90-X: No
DOE ID7 MP2 90-Y: No
DOE ID13 MP4 30: No
PupMeas with ILIAS: No
CSR Proximity matching: No
ExpoSure: No
NA Extension / Diaphragm limiter: No
DOE ID29 MP2 60-X: No
DOE ID30 MP2 60-Y: No
Chemical sampling ports: No
ASF (LS Spot Coverage): No
System perf indicators focus: No
Equipment constants: No
BAM (Bandwidth analysis module): No
DOE ID20 Ultra low sigma: No
2D Barcode reader: No
ASF (E-chuck Flatness Qualification): No
Wait watcher: No
Reticle streaming: No
Best uniformity settings (BUSS): No
Grid mapper
Chuck dedication: No
Spot less: No
Module name Last value Status Unit Limit
Total shot 15825.9 - Mpulse -
Chamber 4344.8 36% Mpulse 12000
L/N Module 4345.9 31% Mpulse 14000
Fronut mirror 2260.7 16% Mpulse 14000
Monitor module 7443.7 74% Mpulse 10000
HG Lamp 6113 3% Cycle 200000
F2 Trap (C) 96.62 97% Cycle 100
F2 Trap (T) 5789.8 33% Hour 17520
Excimer shutter 356890 12% Cycle 3000000
Power: 400 V.
ASML XT 1250은 photolithography 용 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. ASML XT1250 (ASML XT1250) 은 원형 웨이퍼 표면에서 매우 정확한 패턴을 제조하도록 설계된 여러 가지 고급 기술을 갖추고 있습니다. XT 1250은 "트윈 필드 옵틱 (twin-field optics)" 을 사용하므로 인쇄 과정에서 마스크와 웨이퍼를 매우 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 기술은 웨이퍼에 서브 마이크론 해상도의 기능을 제공합니다. 또한 선형 거리의 매우 정확한 측정을 제공하는 독특한 멀티 채널 간섭계가 특징입니다. XT1250은 세계에서 가장 빠른 멀티 CPU 플랫폼 인 apexengine으로 구동됩니다. 이렇게 하면 대형 웨이퍼를 빠르고 높은 해상도로 인쇄할 수 있습니다. 또한 더 작은 웨이퍼에서 더 큰 디바이스에 이르기까지 다양한 애플리케이션을 처리하도록 구성할 수 있습니다. apexengine은 더 빠른 생산 주기, 더 높은 처리량 및 더 나은 균일성을 허용합니다. ASML XT 1250은 DFCS (Dynamic Focus Compensation System) 를 특징으로하며, 이는 인쇄 과정에서 집중적인 정확성을 유지하는 데 도움이됩니다. DFCS 기술은 수동 재포커스의 필요성을 줄이고 안정적인 패턴 인쇄를 보장합니다. 기계의 Specifier/Revealer 소프트웨어를 사용하면 웨이퍼에 맞게 패턴화할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 필드 위치를 조정하여 고르게, 정확한 패턴을 만들 수 있으며, 해상도를 잃지 않고 데이터를 보존할 수도 있습니다. ASML XT1250은 또한 프로플럭스 (ProFlux) 솔루션을 통해 웨이퍼 표면에 최적의 플럭스 공급을 보장합니다. 이 혁신적인 접근 방식은 패턴의 품질을 손상시키지 않고 웨이퍼의 에치 레이트 (etch rate) 를 증가시킵니다. 또한, ProFlux 구성은 작업당 여러 웨이퍼를 지원하여 제조업체의 시간과 비용을 절약할 수 있습니다. XT 1250은 고급 웨이퍼 스테퍼로, 제조업체의 고급 솔루션과 강력한 성능을 제공합니다. 파퍼에 작은 기능을 인쇄하는 데 탁월한 정확도, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. 첨단 소프트웨어 솔루션과 결합된 이 기계의 고출력 (high throughput) 으로, XT1250 은 생산량 및 처리량을 향상시키면서 설계 시간을 단축하려는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션으로 자리잡았습니다.
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