판매용 중고 ASML PAS 5500 #9196425

ASML PAS 5500은 photolithography 프로세스에서 고급 레이어, 레티클 및 마스크를 지원하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 기능 계층에 대한 수리 (repair) 및 교정 (correction) 을 수행할 수 있으므로 웨이퍼 성능이 크게 향상됩니다. 다양한 어플리케이션에서 사용할 수 있도록 PAS 5500의 최대 해상도는 4 nm, 최대 스캐닝 면적은 463 mm x 513mm입니다. 또한 진동 수준이 낮아지고 노출의 반복성이 향상되었습니다. 즉, 여러 웨이퍼에 레이어가 균일하게 노출 될 수 있습니다. ASML PAS 5500은 또한 1nm의 반복 가능성으로 정밀 정렬이 가능합니다. 이 기계의 디자인은 또한 에어 락 챔버 (air lock chamber), 레이저 인터 록 (laser interlock) 및 안전 도어 (safety door) 와 같은 여러 안전 기능을 통해 안전에 중점을 둡니다. 이것은 운영 중 기술자와 운영자의 최소 접촉을 보장합니다. 프로그래밍 가능한 PAS 5500 Control System은 설정 시간을 최소화하고, 노출 수준을 제어하며, 오류를 줄여, 사용자에게 일관된 성능을 제공합니다. 또한 ASML PAS 5500에는 강력한 냉각 기능, 효율적인 재료 전송, 뛰어난 빔 프로파일, 빠른 클로즈다운 시스템 (close-down system) 이 장착되어 운영 성능을 극대화할 수 있습니다. 이 최적화된 운영은 고객에게 탁월한 패턴 충실성을 제공합니다. 그것 은 다양 한 광원 을 이용 할 수 있으며, 최대 "웨이퍼 '온도 는 왜곡 을 감소 시킨다. 장수를 보장하기 위해 PAS 5500에는 강력한 기계식 프레임과 메탈 레이저 용접 커버가 장착되어 있어 안정성이 향상되었습니다. 7.5kW의 전력 요구 사항으로, ASML PAS 5500은 성능을 저하시키지 않고 대규모 wafer 노출을 지원하도록 설계되었습니다. 전체적으로 PAS 5500은 정밀 석판화를 위해 설계된 안정적이고 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이는 기존 시스템에 비해 정확도를 극대화하고, 주기 시간을 줄이고, 개선된 결과를 제공하도록 설계되었습니다.