판매용 중고 ASML AT-850D #9197016

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

ASML AT-850D
판매
제조사
ASML
모델
AT-850D
ID: 9197016
ARF Scanner.
ASML AT-850D 웨이퍼 스테퍼 (ASML AT-850D wafer stepper) 는 집적 반도체 회로의 제조 공정에 사용되는 매우 정확하고 정확한 광학 정렬 장비입니다. 나노 미터 정밀 정렬이 가능한 5 축 동시 위치 시스템이 장착되어 있습니다. 길이는 19.7 피트 (6m), 너비는 9.3 피트 (2.8m), 높이는 9.7 피트 (3m) 입니다. ASML AT850D는 웨이퍼 정렬을 위한 우수한 기능을 제공하는 고급 장치입니다. 정밀 인코더 스케일 정확도 ± 1nm와 함께 매우 민감한 선형 인코더 머신 (linear encoder machine) 을 가지고 있어 탁월한 정확성과 반복 성을 보장합니다. 발전은 밀리초 단계 동작을 허용합니다. 기계의 턴키 제어 도구 (turnkey control tool) 를 사용하면 외부 진동으로부터 변형을 완전히 예방할 수 있습니다. AT 850D는 정확한 웨이퍼 정렬을 감지, 분석, 유지할 수있는 자동 검사 자산으로 설계되었습니다. 총 6 헤드 정렬 모델이 있으며, 각각 주어진 웨이퍼에서 최대 25 개의 마커를 감지 할 수 있습니다. 장비는 여러 서보 (servo) 및 동작 제어 모듈 (motion control module) 과 고급 소프트웨어로 구성된 강력한 프로세스 제어 시스템에 의해 제어됩니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 광범위한 정렬 단계를 수용할 수 있으며, 노출당 여러 웨이퍼 정렬을 허용하는 지능형 웨이퍼 (Intelligent Wafer) 인덱싱 장치를 포함합니다. 모든 기능을 갖춘 머신은 정밀도가 높은 거의 모든 정렬 패턴을 처리합니다. 고급 광학과 함께 정교한 계산 및 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 정확한 웨이퍼 (Wafer) 위치를 보장합니다. 이 기계에는 고급 고정밀 웨이퍼 정렬 현미경도 장착되어 있습니다. 이 현미경은 고객에게 웨이퍼 결합 영역에 대한 뛰어난 견해를 제공합니다. 5 마이크로미터 오류 범위에 비해 최대 8 미터의 정확도를 제공 할 수 있으며 1 나노 미터 크기 기능을 해결할 수 있습니다. 이 도구는 낮은 왜곡 광학 (optic) 을 제공하는 고도로 최적화 된 광학 자산으로 설계되었습니다. 또한, 특수 조명 모델은 균일하고 고강도 광원을 생성하여 핫스팟을 제거하고 회로 왜곡을 줄입니다. 전반적으로 ASML AT 850D 웨이퍼 스테퍼 (ASML AT 850D wafer stepper) 는 웨이퍼 제작에서 뛰어난 정확성을 제공하도록 설계된 광범위한 기능을 갖춘 매우 정확하고 정확한 장비입니다. 최신 기술로 "와퍼 (wafer) '를 완벽하게 정렬할 수 있는 최고의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 보장한다.
아직 리뷰가 없습니다