판매용 중고 ASM WS 896 #9176106

ASM WS 896 은 광학 스테퍼 (stepper) 로서 리소그래피 용도의 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 최고 수준의 균일성을 위해 높은 정확도와 속도를 제공하는 290mm (스캐닝 영역) 와 내장 비전 시스템 (vision system) 및 자동 웨이퍼 로딩/언로드 (automatic wafer loading/unloading) 를 갖추고 있습니다. 이것은 반도체 제조 공정의 개발에 적합합니다. ASM WS896은 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 전동 선형 축 시스템과 안정화 조명 장치 (stabilized illumination unit) 를 사용하여 최대 스캔 속도 (10,000mm/second) 에서 작동할 때 뛰어난 정확성과 안정성을 유지할 수 있습니다. 진동 내성 디자인은 ± 3äm의 뛰어난 위치 반복 능력을 특징으로하여 얕은 트렌치 격리 및 이중 패턴 처리 (double-patterning process) 에 이상적입니다. WS 896은 내장형 비전 시스템과 자동 웨이퍼 로딩/언로드를 통해 처리량을 향상시킵니다. 스테이지에서 자동 패턴 인식 (Automatic pattern recognition on the stage) 은 단일 및 이중 패턴 작업을 모두 유연하게 정렬할 수 있도록 지원합니다. 동력 확대/축소 렌즈는 최적의 해상도와 초점을 위해 배율을 6 배에서 60 배로 조정합니다. 또한 WS896은 일반 UV에서 DUV까지 다양한 노출 도구를 지원합니다. 수많은 노출 옵션과 높은 유연성을 갖춘 어플리케이션에는 큰 형식의 리소그래피 (lithography) 와 에칭 (etching) 과 간단한 마스크 및 정렬 레이어 (alignment layer) 가 포함됩니다. ASM WS 896은 직경 4 인치에서 12 인치 사이의 다양한 웨이퍼 크기를 검사하며, 단일 시스템 내에서 최대 8 레이어의 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 마지막으로, 실패율이 매우 낮아 안정적인 장기 운영에 적합합니다.