판매용 중고 ASM WS 896 #9060206

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제조사
ASM
모델
WS 896
ID: 9060206
빈티지: 2007
Manual scanner Currently warehoused 2007 vintage.
ASM WS 896 (ASM WS 896) 은 반도체 웨이퍼의 저량 및 대용량 생산 제조업체를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. ASM WS896은 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼 (wafer) 를 스테핑할 수 있으며 단일 프로세스 사이클에서 최대 600 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 최첨단 옵티컬 및 모터 기술 (Optical and Motor Technologies) 을 통해 동급 모든 스테퍼의 노출 정확도가 가장 높습니다. WS 896은 전용 멀티 프로세서 장비로 제어되는 2 개의 고정밀 갈바노미터 기반 스캔 단계를 갖추고 있습니다. 따라서 전체 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 스캐닝 작업을 병렬로 처리하여 최대 웨이퍼 처리 속도 (Wafer Throughput Speed) 에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 검류계 (galvanometers) 는 고정밀 스캔 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 멀티 프로세서 시스템은 장치 응답성과 정확도를 향상시킵니다. 또한 스텝퍼에는 혁신적인 자동 초점 장치 (auto-focusing mechanism) 가 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 와 광학 (optics) 사이의 정확한 정렬이 가능합니다. 저배율 광학 (low magnization optics) 은 또한 웨이퍼에 다른 두께의 특징이 포함 된 경우에도 높은 정확도를 유지하는 데 도움이됩니다. 스테퍼는 또한 통합 에어 베어링 스테이지 머신 (air-bearing stage machine) 과 함께 제공되며, 최소한의 드리프트로 빠르고 정확한 스텝 앤 리피트 성능을 보장합니다. WS896은 옵틱 (optic) 과 모터 외에도 고급 모션 컨트롤 (motion control) 도구를 갖추고 있어 옵틱과 스캐닝 스테이지의 동작을 정확하게 제어할 수 있습니다. 매우 낮은 대기 시간과 최소 리플 특성으로 인해 고속 작동에 이상적입니다. 마지막으로, 스테퍼에는 자동 추적 (Automatic Tracking) 및 수정 (Correction) 기능이 장착되어 있어 최고의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 전반적으로 ASM WS 896은 반도체 웨이퍼의 대량 생산에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀 옵틱 (optic), 모터, 모션 제어 시스템은 빠른 속도와 처리량으로 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있는 완벽한 선택입니다.
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