판매용 중고 ASM WS 896 #9170395

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ASM WS 896
판매
제조사
ASM
모델
WS 896
ID: 9170395
Chip scanners.
ASM WS 896은 생산 또는 연구 용도로 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 다양한 반도체 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 가장 진보된 옵틱, 모션 컨트롤, 컴퓨터 제어, 지원 시스템을 결합한 완전 통합형 장비입니다. Optics and Illumination ASM WS896의 중심에서, 숫자 조리개 (NA) 가 0.45인 최첨단 프로젝션 광학 시스템으로, 웨이퍼 전체 영역에 걸쳐 높은 해상도와 균일 한 이미지를 제공합니다. 조명은 LED 어레이 및 광학 요소를 통해 제공되며, 웨이퍼 전체에 균일하게 노출되도록 구성됩니다. Motion Control WS 896에는 다음과 같은 다양한 모션 제어 옵션이 있습니다. 와퍼 스테핑 및 스캔; 웨이퍼 스태킹 기능을 통해 재배치 없이 다중 노출 가능, 정확도 향상을 위해 웨이퍼 드리프트 안정화; 열 기반 서보 제어 및 마찰없는 XYZ 단계와 같은 추가 개선. 이러한 고급 모션 컨트롤 옵션을 통해 WS896은 대규모 연구 프로젝트뿐만 아니라 저용량 생산에서 웨이퍼를 정확하고 효율적으로 노출시킬 수 있습니다 (영문). Computer Control ASM WS 896 (Computer Control ASM WS 896) 은 업계에서 가장 진보된 컴퓨터 제어 시스템과 완벽하게 통합되어 있어 쉽고 효율적인 프로그래밍 및 설치 기능을 제공합니다. 컴퓨터 제어 장치 (computer-controlled unit) 는 단순한 제조 명령에서 고급 노출 레시피에 이르기까지 다양한 소프트웨어 패키지를 실행합니다. 또한 CAD 및 CAM 프로그램을 실행하여 디지털 리소그래피 소프트웨어와 통합하여 생산성을 능률적으로 설계할 수 있습니다. Support Systems ASM WS896은 또한 종합적인 수동 및 자동 웨이퍼 테스트 시스템을 포함한 여러 지원 시스템을 갖추고 있습니다. 이 지원 도구에는 다음이 포함됩니다. 각 노출의 무결성을 모니터링하는 노출 모니터 기능; 노출의 정확성을 보장하기위한 검증 기능; 광학을 깨끗하고 먼지가 없는 상태로 유지하기위한 청소 자산. 결론적으로, WS 896은 생산 및 연구 용도에 이상적인 고급, 완전히 통합 된 웨이퍼 스테퍼 모델입니다. 최첨단 옵틱과 모션 컨트롤, 고급 컴퓨터 제어 시스템, 종합적인 지원 시스템 덕분에 WS896 은 모든 반도체 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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