판매용 중고 ASM WS 896 #9159227

ASM WS 896은 반도체 산업을위한 생산 장비 공급 업체 인 ASM Linx에서 제조 한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 고급 CMOS, MEMS 및 MEMS-on-CMOS 장치에 대한 리소그래피 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 강력한 3 축 모터가 장착되어 있어 장치 구성 요소 간의 정확한 정렬이 보장되며 웨이퍼의 고정밀 노출이 보장됩니다. 장비의 4 ~ 6mm 스팟 크기는 단일 노출에서 게이트 어레이 (gate array) 프로세스에 이르기까지 광범위한 프로세스를 가능하게합니다. 이 스테퍼는 또한 시간당 최대 500 웨이퍼 (wafer) 의 최대 노출 속도를 특징으로하여 생산 속도와 처리량을 늘릴 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '에는 고급 광학 장치 가 장착 되어 있는데, 이 광학 장치 는 전체" 웨이퍼' 기판 에 균일 한 조명 을 보장 하고 모든 "마스크 '와 구조 에 균일 한 광자 용량 을 보장 해 준다. 이를 통해 ASM WS896은 안정적이고 정확한 리소그래피 도구 중 하나입니다. 이 스테퍼에는 생산 오류를 줄이는 데 도움이 되는 모든 정렬 (alignment) 및 패턴 확인 (pattern checking) 기능과 최고의 정확도를 위한 내장형 교차 포지셔닝 머신 (cross-positioning machine) 이 있습니다. 이 도구는 에셋 매개변수의 정렬 및 최적화를 허용하는 아트 CCD 모니터 (Art CCD Monitor) 상태와 함께 제공됩니다. WS 896에는 EasyRun etch 제어 소프트웨어가 포함되어 있으므로 드라이 에칭 (dry etching) 과 같은 정확한 에칭 프로세스와 습식 에칭이 가능합니다. 에칭 제어 (Etching control) 소프트웨어를 사용하면 에치 각도, 에치 속도, 에치 속도 보호 등의 고급 글로벌 에칭 매개변수를 사용할 수 있습니다. 또한, WS896은 저진동 스테퍼 디자인 (low-vbration stepper design) 을 특징으로하여 생산 된 소음 수준을 낮추고, 이 모델은 산업용으로 적합하며, 도구 성능을 향상시킵니다. 이 장비에는 온도 모니터링, 전력 배출 (power disjection) 및 여러 사용자 설정 가능한 안전 제한 (safety limit) 과 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 ASM WS 896 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 다양한 기능과 기능을 갖춘 강력하고 신뢰할 수있는 석판화 툴로, 광범위한 어플리케이션에 적합합니다. 와퍼 (wafer) 의 생산 수준 정밀 노출에서 프로세스 에칭 (etching) 및 최적화 (optimization) 에 이르기까지, 이 시스템은 다양한 생산 요구 사항에 대한 신뢰할 수 있는 고정밀 솔루션을 제공합니다.