판매용 중고 YUASA TSS #9149651

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YUASA TSS
판매
ID: 9149651
CMP Scrubber Currently warehoused.
YUASA TSS는 다양한 유형의 웨이퍼 및 마스크에서 오염 물질을 제거하도록 설계된 특수 스크러버 (scrubber) 입니다. 스크러버 (scrubber) 는 일련의 기계식 팔로 구성되며, 각 팔에는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 를 청소하기위한 브러시 헤드가 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 순환 스크러빙 동작을 사용하여 웨이퍼 또는 마스크의 표면에서 잔류 물, 먼지 및 기타 오염 물질을 제거합니다. TSS는 실린더를 스크러빙 브러시로 충전하는 강력한 모터로 설계되었습니다. "브러쉬 '는 빠르게 회전 하여 흙, 먼지, 기타 잔류 물 에 대한 강력 한 문지르기 작용 을 하도록 설계 되었다. 이 스크러빙은 웨이퍼 또는 마스크 표면에 거의 손상되지 않고 잔류 물을 제거합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 방출 된 파편을 빠르게 포착 한 진공 시스템이 장착되어 작업 조각에 다시 배치되지 않습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 조절 가능한 속도 제어가 장착되어 있으며, 다양한 수준의 스크러빙 활동이 가능합니다. 스크러빙 (scrubbing) 표면을 웨이퍼 또는 마스크의 표면에 더 잘 맞도록 조정할 수도 있습니다. 또한, 머신의 높이를 생산 라인 레이아웃에 더 잘 맞도록 조정 할 수 있습니다. YUASA TSS는 프로덕션 라인에 쉽게 통합하도록 설계되었습니다. 생산 라인 (production line failure) 을 무시하거나 잠재적 문제의 운영자에게 경고하도록 프로그래밍 할 수있는 자동 제어 시스템 (automated control system) 이 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 광범위한 생산 라인 레이아웃에서 작동하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 스크러버를 쉽게 작동 및 프로그래밍할 수 있습니다. TSS는 높은 수준의 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 엄격한 품질 표준에 따라 제조되며 12 개월 보증이 적용됩니다. YUASA TSS 는 웨이퍼/마스크 교체와 관련된 시간과 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 고품질 웨이퍼 및 마스크 생산의 핵심 구성 요소입니다.
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