판매용 중고 SMART SONIC EZ-0 #9076054

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ID: 9076054
빈티지: 2006
Wastewater Evaporator, 2006 vintage.
SMART SONIC EZ-0 (SMART SONIC EZ-0) 은 반도체 산업 전문가들이 깨끗한 표면을 오염과 잔해에서 벗어나도록 사용하는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 특허받은 소닉 클리닝 기술을 활용하여 챔버 내부에 액체의 진동 층류 (oscillating laminar flow) 를 만듭니다. '라미나 스크러빙 액션 (laminar scrubbing action)' 이라고하는이 클리닝 프로세스는 전단력을 사용하여 웨이퍼 재료 자체보다 단단한 표면에서 입자를 제거합니다. EZ-0 (EZ-0) 을 사용할 때, 사용자는 단순히 서피스 오염이 있는 웨이퍼 또는 마스크를 장치에 배치하고, 상단 커버를 닫고, 주기를 시작합니다. 그런 다음 사용자는 적절한 모드를 선택하고 스크러빙 레벨을 조정합니다. 주기 동안이 장치는 가압 액체 (pressurized liquid) 를 사용하여 신중하게 제어 된 압력 보조 소닉 스크러빙 프로세스를 적용합니다. 사이클이 완료되면 장치 덮개 (lid of the unit) 가 열려 추가 처리를 위해 wafer 또는 mask 를 안전하게 제거할 수 있습니다. 그런 다음, "스크러빙 '이 끝나면 초음파 로 깨끗 하게 된 표면 은 오염 과 파편 이 없도록 결정 된다. SMART SONIC EZ-0은 다른 유사한 기계에 비해 사용하기 쉽고 설정이 쉽습니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 운영 매개변수 (Operational Parameter) 모두 쉽게 참조할 수 있도록 장치에 명확하게 표시됩니다. 또한, 기계에는 챔버 (chamber) 에 들어가는 대부분의 잔해물을 차단하는 내장 필터와 깨끗하게 유지하기 위해 자동 플러시 사이클 (flush cycle) 이 내장되어 있습니다. 이 장치는 또한 실리콘, 이산화규소, 게르마늄, 갈륨 등 다양한 유형의 반도체 물질을 처리 할 수 있습니다. 또한 에너지 효율성이 높으며, 전력 소비가 적고 작동이 조용합니다. 전반적으로 EZ-0 (EZ-0) 은 매우 민감한 웨이퍼 및 마스크 표면을 깨끗하게 유지하고 오염이 없도록 하는 효과적인 도구입니다. 고급 소닉 클리닝 (sonic cleaning) 기술과 사용자 친화적 인 디자인으로 반도체 전문가에게 이상적인 선택입니다.
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