판매용 중고 AOC MAVT-4100 #9093294

AOC MAVT-4100은 12 인치 웨이퍼에 대한 여러 스크러빙, 세척 및 건조 작업을 효율적으로 처리하도록 설계된 자동 제어 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이것은 평면, 평면, 단단하지 않은 물체 (예: 웨이퍼, 마스크) 를 스크러빙하기 위한 자동화된 고성능 솔루션입니다. 반도체 제조 공정에 이상적입니다. MAVT-4100은 6 가지 스크러빙 시스템 조합을 사용하여 철저하고 일관된 클리닝을 보장합니다. 이 시스템에는 입자 및 오염 물질 제거를위한 4 개의 회전 스크럽 브러쉬, 분해 및 느슨화 입자 구축을위한 수력 스크러버, 다른 스크러빙 기술에는 너무 작은 입자를 제거하기위한 화학 제트 스크러버, 청소 후 건조를위한 IR 건조기. 이 조합은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 가 완전히 깨끗하고 오염 물질이 없도록 보장합니다. 또한 AOC MAVT-4100은 매우 자동화되었습니다. 프로그래머블 논리 컨트롤러 (PLC) 를 사용하여 각 스크러빙 시스템을 독립적으로 제어합니다. 따라서 스크러빙 주기 (scrubbing cycle) 를 정확하고 자동화하여 운영자가 각 단계를 직접 시작하지 않고도 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. PLC는 또한 쉬운 문제 해결을 지원합니다. MAVT-4100은 6 개의 스크러빙 단계 각각을 자동으로 순환하여 수동 개입을 제거합니다. 스크러빙하는 동안, AOC MAVT-4100은 스크러빙 중인 재료의 유형 및 상태에 따라 각 시스템의 속도와 강도를 자동으로 조정합니다. 이렇게 하면 스크러빙 (scrubbing) 작업이 각 개별 웨이퍼 또는 마스크에 맞게 조정되어 짝수, 일관성 있는 클린 (clean) 상태가 됩니다. MAVT-4100 은 2 개의 주요 안전 기능을 갖추고 운영 직원에게 안심할 수 있도록 지원합니다. 첫 번째 "로킹 게이트 '는 뚜껑이 닫힐 때 자동적 으로 맞물려, 어떤" 스크러빙' 작업 이 위험 한 부위 에서 안전 하고 멀리 떨어져 있는지 확인 해 준다. 두 번째는 '비상 정지 (Emergency Stop)' 버튼로, 모든 스크러빙 작업을 수동으로 중단하고 즉시 중지하여 운영자가 쉽게 작업을 재설정하고 재개할 수 있습니다. AOC MAVT-4100 (AOC MAVT-4100) 은 반도체 제조를 위한 신뢰성 있고 자동화된 스크러빙 솔루션으로, 웨이퍼, 마스크 등의 평면, 평면, 비강성 객체를 스크러브해야 하는 프로세스에 적합합니다. 이 제품은 스크러빙 시스템 (Scrubbing System), 정확하고 자동화된 제어 기능, 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 제공합니다.