판매용 중고 AIRTECH CD3052537 #9138325

AIRTECH CD3052537은 웨이퍼 및 포토 마스크 제조를위한 청소 솔루션을 제공하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "와퍼 '," 마스크' 및 집적회로 를 만드는 데 사용 되는 기타 부품 들 을 청소 하기 위한 산업 등급 의 "스크러버 '이다. 이 스크러버는 단면, 양면 및 삼중 스크러빙과 호환됩니다. CD3052537 장비에는 32 인치 스크러버 헤드가 있으며 3 축 CNC 메커니즘이 장착되어 있어 스크러빙 및 청소에 대한 정확한 제어가 가능합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 극도로 낮은 압력으로 작동하는 능동형 마이크로 제트 (micro-jet) 청소 시스템이 장착되어 부드럽고 잔류 한 청소가 가능합니다. 마이크로 제트 스프레이 장치는 30 ~ 70 ° C 사이의 온도에서 DI 물을 사용하여 다양한 웨이퍼/마스크 응용 프로그램을위한 다양한 클리닝 옵션을 제공합니다. 조정 가능한 노즐은 기판 변형을 최소한으로 유지하면서 정확성과 균일성을 보장합니다. AIRTECH CD3052537에는 포토 esist 및 웨이퍼/마스크 표면에서 다른 재료를 제거하기위한 정교한 3 축 로봇 껍질 기계도 포함되어 있습니다. 넓은 작업 영역 (working area) 과 빠른 속도 (fast speed) 를 통해 탈피 도구는 효율적이고 깨끗한 작동을 보장합니다. 또한 자체 잠금 나사가 장착된 내장형 헤비 듀티 (heavy-duty) 섀시를 사용하면 빠르고 쉽게 설치할 수 있습니다. 스크러버 자체는 방진성 및 부식 내성으로 안정성을 강화합니다. 스크러버는 또한 종합적인 온보드 터치 스크린 컨트롤 에셋을 특징으로하며, 이는 펄스 너비, 속도, 노출 시간, 거리 등의 조정 가능한 클리닝 매개변수를 제공합니다. 이 모델에는 온라인 검사 및 광학 특성 감지 및 웨이퍼/마스크 클리닝 균일성을위한 3 방향 색상계도 포함되어 있습니다. 따라서 변경 사항에 신속하게 대응하여 일관성 있고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 요약하자면, CD3052537 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 웨이퍼/마스크 제조를 위한 안정적이고 효율적인 클리닝 솔루션입니다. 조절 가능한 마이크로 제트 클리닝 장비, 3 축 로봇 화 필링 및 통합 터치 스크린 제어 시스템 (touch-screen control system) 을 사용하여이 스크러버는 높은 수준의 반복성으로 정확하고 잔류 방지 클리닝을 보장합니다.