판매용 중고 ENTEGRIS Ultrapak 1500 #161074

ENTEGRIS Ultrapak 1500 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 제조 응용 프로그램의 웨이퍼 처리를 능률화하고 가동 시간을 극대화하도록 설계된 반자동 웨이퍼 처리 솔루션입니다. Ultrapak 1500은 최대 4개의 서로 다른 웨이퍼 크기를 처리할 수 있으며, 빠른 웨이퍼 로드, 언로드 및 정렬을 위해 설계되었습니다. ENTEGRIS Ultrapak 1500은 캐스트 알루미늄과 파우더 코팅 스틸 (powder-coated steel) 로 만든 내구성이 뛰어난 프레임으로 설계되어 긴 서비스 수명을 제공합니다. 이 기계는 모듈식 (modular) 구조로 설계되어 다양한 웨이퍼 크기에 대해 손쉽게 사용자 정의하고 신속하게 재구성할 수 있습니다. 보안 웨이퍼 로드/언로드 작업의 경우, Ultrapak 1500은 조정 가능한 힘 피드백 (feedback) 기능을 갖춘 맞춤형 4 점 서스펜션 시스템을 사용하여 표면을 손상시키지 않고 적절한 접촉과 그립을 보장합니다. ENTEGRIS Ultrapak 1500에는 웨이퍼 핸들러와 카세트 사이의 정밀 정렬이 가능한 제로 터치 (zero-touch) 정렬 옵션이 있습니다. 이것은 +/- 4 밀리미터 (+/- 4 mm) 의 반복 정확도로 프로그래밍 가능한 스캐너를 사용하여 수행되며, 이는 웨이퍼 핸들러와 카세트를 일관되게 정렬하여 잘못 정렬하여 다운타임을 최소화합니다. Ultrapak 1500에는 동축 정렬을 위해 사용자가 조정할 수있는 자동 웨이퍼 센터 스테이션 (wafer centering station) 도 포함되어 있습니다. ENTEGRIS Ultrapak 1500은 내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 진공 픽업 암 (stainless steel vacuum pickup arm) 을 특징으로하며, 단일 사이클에서 최대 20 개의 풀 시트 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 회전 속도는 최대 7200 RPM입니다. 이 암은 손상 위험없이 섬세한 웨이퍼 (wafer) 를 부드럽게 다룰 수 있도록 포스 피드백 (force feedback) 시스템으로 설계되었습니다. 진공 픽업 암 (vacuum pickup arm) 은 통합 서보 모터로 구동되며, 다운타임을 최소화하면서 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. 울트라팩 1500 (Ultrapak 1500) 은 사용이 간편하며, 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 사용자가 신속하게 작업을 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. ENTEGRIS Ultrapak 1500은 기존 자동화 시스템과 통합될 수 있으며 SEMI 표준을 준수합니다. 이 기계는 또한 도어 센서 (door sensor) 및 리미트 스위치 (limit switch) 와 같은 내장 안전 기능을 통해 운영자의 안전을 보장합니다. 요약하면, Ultrapak 1500 Wafer Handler는 반도체 제조 응용 프로그램에서 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 반자동 웨이퍼 처리 솔루션입니다. ENTEGRIS Ultrapak 1500은 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며 내구성 있는 스테인리스 스틸 진공 픽업 암 (stainless steel vacuum pickup arm) 으로 최대 4 가지 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 고급 정렬 옵션, 자동 웨이퍼 중심, 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 안전 기능도 제공합니다.