판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION M 700 #47857

ID: 47857
Robot, 7-sided.
BROOKS/PRI AUTOMATION M 700 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 생산에서 웨이퍼 프로세싱의 효율성과 생산성을 향상시키기 위해 설계된 완전 자동화되고 신뢰성이 높은 로봇 재료 처리 장비입니다. 이 시스템은 업스트림 (upstream) 장비와 다운스트림 (downstream) 장비 사이에 자동으로 웨이퍼 (wafer) 및 기타 연약한 부품을 안전하게 전송할 수 있도록 설계되었으며, 특정 어플리케이션을 위한 장치 사용자 정의에 높은 유연성을 제공합니다. 이 기계는 최대 두께가 1.5mm 인 2 인치에서 8 인치까지 다양한 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 스테인리스 스틸 프레임 (stainless steel frame) 이 있으며, 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 방향을위한 정밀 머시닝 단계 (precision-machined stage) 와 웨이퍼 처리를위한 그리퍼 핸드 (gripper hand) 가 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 프로세스 제어 및 모니터링을 위해 다른 처리 장비 (예: 대량 흐름 컨트롤러, 챔버 압력 컨트롤러, 레이저 마킹 시스템) 와 통합 될 수 있습니다. 또한, 에셋은 물질로드 및 언로드 중 공백을 줄이기 위해 필립스 웨이브 가이드 (Philips waveguide) 기술을 갖추고 있으며, 안정적이고 효율적인 작동이 가능합니다. 이 모델에는 사용자 정의 가능한 경보 (alarm) 및 오류 메시지가 포함되어 있어 운영자에게 문제 또는 이상을 알립니다. BROOKS M 700 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 웨이퍼 처리 작업에서 원활한 자동화를 제공합니다. 또한 모듈식 (modular) 구성으로 설계되어 유지 보수 및 성능 업그레이드가 간편합니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION M700 Wafer Handler는 다재다능하고 신뢰할 수있는 시스템으로, 반도체 처리를 크게 향상시킬 수 있습니다.
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