판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9105659

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ID: 9105659
Wafer inspection system E+ Station Pre-aligner station (2) Send cassettes (3) Receive cassettes Hi res station Lo res station Dual end effector robot Wafer typing option ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600은 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 업계의 까다로운 요구와 대용량 생산 요구사항을 충족할 수 있도록 설계돼 있다. 반도체 (반도체) 업계의 과격한 수요와 대용량 생산 요구사항에 부합한다. 이 시스템은 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 정확한 비준수 (non-conformance) 검사 솔루션을 통해 사용자가 최소한의 수작업으로 웨이퍼에 대한 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 장치의 고속 웨이퍼 이미지 스캔 및 도량형 (Metrology) 기술은 시간당 최대 600 웨이퍼를 스캔하는 기능으로 빠르고 안정적인 웨이퍼 검사를 용이하게합니다. 풀 컬러, 고해상도 매트릭스 영역 어레이 카메라 (3um 해상도) 를 갖춘 내장형 비전 서브시스템 (vision subsystem) 을 통해 웨이퍼의 결함이 가장 작은 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이 품질 이미지 스캐닝 (image scanning) 기능은 정확히 결함 위치 및 분석을 보장하기 위해 거의 100m 해상도의 광원과 결합됩니다. 또한 ADE UltraScan 9600 은 특허 출원 중인 결함 감지 (defect detection) 및 분류 알고리즘을 통해 결함 유형을 자동으로 분류하면서 결함을 실시간으로 자동 감지할 수 있습니다. 따라서 수작업 검사 및 후속 데이터 검토가 필요 없습니다. 이 기계는 견고하고, 빠르고, 안정적이며, 효율적인 스캔 및 도량형 기술로 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 따라서 "웨이퍼 '가 수작업 을 하는 데 걸리는 얼마 의 시간 에 재빨리 결함 을 식별 할 수 있게 되어, 비용 과 시간 을 줄여준다. 이 도구는 또한 ATE 호환성 (ATE Compatibility) 을 갖추고 있어 효율적인 생산 회선 운영을 위해 ATE 시스템에서 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, KLA ULTRA SCAN 9600은 광범위한 안전 프로토콜을 제공하여 사용자가 안전한 작업 환경을 유지할 수 있도록 합니다. 간편한 탐색 (navigate) 사용자 인터페이스, 경보 모니터링 자산 및 원격 액세스 (Remote Access) 기능을 통해 특허를 획득한 빔 안전 (Beam Safety) 모델에 이르기까지, 사용자는 안전성을 저하시키지 않고 시스템을 안전하게 사용할 수 있습니다. TENCOR UltraScan 9600은 가장 까다로운 생산 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 정밀도가 높은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 고급 스캐닝 및 도량형 (Scanning and Metrology) 기술은 높은 정확도, 빠르고 안정적인 결과를 보장하는 반면, 통합된 비전 하위 시스템 및 특허받은 결함 감지 및 분류 알고리즘은 결함을 실시간으로 평가합니다. 안전 장치 (Safety Features) 를 통해 사용자는 안전한 작업 환경을 제공하여 안전성을 저해하지 않고 안전하게 시스템을 사용할 수 있습니다.
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