판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR ASC #9005900

ID: 9005900
Controller ADE 9300 config.
ADE/KLA/TENCOR ASC는 반도체 처리에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 고유 한 전사 장비 를 이용 하여 "다이 본더 '," 와이어 본더', 서기관, "에처 '," 다이커' 등 여러 가지 도구 들 과 반도체 장치 조립 에 사용 되는 기타 많은 장비 들 로 기판 을 일관성 있고 정확 하게 전달 하거나 전염 시킨다. ADE ASC는 반도체 산업을 위해 설계된 완전 구성 가능한 웨이퍼 핸들러입니다. 핸들러 (Handler) 는 다양한 부품을 갖춘 모듈식 설계로, 응용 프로그램에 따라 쉽게 변경 및/또는 사용자 정의할 수 있습니다. 매우 정확하고 일관된 기판 전송을 제공하는 전송 시스템이 특징입니다. 이 전송 장치 (Transfer Unit) 는 컴포넌트 크기의 변화를 줄이고 빠르고 정확한 방식으로 이동할 수 있도록 설계 (Design) 됩니다. "핸들러 '에는 또한" 웨이퍼' 를 자동적 으로 공급 하고 처리 하는 데 사용 되는 "컨베이어 '장치 가 갖추어져 있다. 선형 및 3 차원 이동이 가능하며, 이는 다양한 기판 적재 기능에 유연성을 제공합니다. 컨베이어 (Conveyer) 메커니즘은 또한 웨이퍼의 두께 변화를 감지할 수 있으며 속도를 자동으로 조정하여 이를 보완합니다. 또한 KLA ASC 는 "와퍼 '를 인식 하는 데 사용 되는" 레이저 스캐너' 와 함께 사용 하여 "핸들러 '에 정확 하게 위치 시킨다. 또한, 스캐너는 웨이퍼 표면에 존재하는 결함 또는 입자를 감지하도록 설계되었습니다. 또한, 핸들러에는 자동화된 공구 변경 장치 (automated tool-changing device) 가 장착되어 있어 여러 공구를 수동으로 전환하지 않아도 처리할 수 있습니다. 이는 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하는 데 특히 유용한 기능으로, 프로세스 속도를 크게 높이고 인건비를 절감할 수 있습니다. 마지막으로 TENCOR ASC에는 정전기 및 정적 보호 시스템이 장착되어 있습니다. 이 도구는 비정상적인 전류 (current), 너무 높은 정전하 (static charge level) 및 전기 펄스 (electric pulse) 를 감지하고 자산을 즉시 종료하기 때문에 웨이퍼 핸들러의 적절한 기능을 보장합니다. 결론적으로, ASC는 반도체 처리에 사용되는 고도의 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 여러 가지 기능을 제공하여 운영 라인에 사용할 수 있는 안전하고 안정적인 옵션을 제공합니다 (영문). 매우 정확하고 일관된 기판 전송 모델과 자동화된 공구 변경 장치 (automated tool-changing device) 는 많은 수의 웨이퍼를 처리하는 데 특히 유용합니다. 또한, 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 와 정전기 및 정전기 방지 장치 (Electrostatic and Static Protection Equipment) 는 작동을 위한 안전한 환경을 제공하고 처리 중인 웨이퍼의 무결성을 보장합니다.
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