판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9095972

ADE/KLA/TENCOR 9600 장비는 고급 이미징 기능과 웨이퍼 레벨 도량형을 사용하여 웨이퍼 및 구성 요소를 정확하게 측정, 분석 및 특성화하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고해상도 스캐닝 (scanning) 과 이미징 (imaging) 기술을 활용하면 높은 정밀도와 정확도를 얻을 수 있습니다. 기계의 테스트 부분에서 DIS (Defect Inspection and Sizing) 라는 특허받은 광학 스캐닝 기술이 결함을 찾아 전체 웨이퍼 표면을 스캔합니다. 이러한 결함은 이미지 인식 알고리즘을 사용하여 자동으로 측정, 분류, 분석할 수 있습니다. 이 도구는 별도의 색상 채널과 광각 (wide-angle) 및 협각 (narrow-angle) 광학을 모두 사용하여 잔류 (residue), 입자 (particles), 균열 (crack) 과 같은 다양한 결함을 정확하게 식별하고 크기를 조정할 수 있습니다. 에셋의 도량형 부분은 웨이퍼 (wafer) 구조의 정확한 치수를 제공 할 수 있습니다. 고해상도 광학 모델은 빠른 웨이퍼 레벨 자동 정렬 장비와 결합하여 세부 측정 (submicron accuracy) 을 제공합니다. 시스템은 단계 높이, 두께, 접촉 영역 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 지형 분석을 위해 표면의 고해상도 이미지를 캡처 할 수 있습니다. ADE 9600 시스템에는 매개 변수를 쉽게 설정하고 제어할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 워퍼 (wafer) 표면의 결함을 신속하게 파악하고 수정하도록 설계되었으며, 이로 인해 수율이 높아지고 제조 공정이 개선될 수 있습니다. 자동화된 pass/fail 검사 기능과 자동화된 데이터 분석 (Automated Data Analysis) 기능을 통해 자세한 Wafer 테스트 및 Metrology 결과를 제공하는 데 필요한 시간 중 일부만 수동 방법을 사용할 수 있습니다.