판매용 중고 STRASBAUGH 6DE-1 #135707

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ID: 135707
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 1982
Overarm polishing machine, 12" Wafer polishing single table: (3)x2", (3)x3", 4", 5" Multiple small wax-blocked wafer R&D Polishing Stainless steel precision, 12" Lapped flat CMP platen (Pad process table) Mounted with adaptor hub 1982 vintage.
STRASBAUGH 6DE-1은 연삭, 랩 및 연마 (GL&P) 응용 프로그램을 위해 설계된 다기능 공정 장비입니다. 이 시스템은 R&D (Research and Development) 연구실뿐만 아니라 생산에 적합하며 4 인치 또는 100mm ~ 6 인치 또는 150mm까지 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 6DE-1 장치에는 다양한 GL&P 프로세스에 대한 추가 액세서리를 장착 할 수있는 교환 가능한 모듈식 베이스와 척 (chucks) 이 추가되었습니다. 또한 컴퓨터를 통해 실시간 프로세스 제어, 지속적인 모니터링, 데이터 수집 등을 수행할 수 있습니다. STRASBAUGH 6DE-1에는 웨이퍼 이동을위한 4 개의 드라이브 모터가 있습니다: 연마를위한 DC 브러시리스 토크 모터, 자동 웨이퍼 이동을위한 브러시리스 선형 서보, 웨이퍼 위치 조정을위한 2 축 방향 모터, 랩핑 및 그라인딩을위한 강력한 AC 모터. 이 도구에는 또한 공압 척, 조정 가능한 랩핑 플래튼 및 선택 가능한 다운 포스 제어가 있습니다. 6DE-1은 또한 다양한 표준 액세서리 (standard accessory) 와 프로세스 변화 및 유연성 향상을 지원하는 맞춤형 액세서리 (custom accessory) 를 갖추고 있습니다. 이러한 액세서리에는 홀더, 패드, 플래튼, 워터 제트 및 공구 구성 요소가 포함됩니다. 이 자산은 작동하고 유지 관리하기 쉽습니다. 사용자 친화적 인터페이스, 낮은 운영 전력 비용, 최소한의 청소 (cleaning) 로 인해 운영 비용이 최소화됩니다. 또한 플래튼 (platens), 공압 척 (pneumatic chuck) 및 다운 포스 제어 (downforce control) 와 같은 추가 액세서리를 포함하므로 경제적으로 유리합니다. STRASBAUGH 6DE-1은 다양한 기능과 낮은 소유 비용 (TCO) 으로 인해 다양한 생산 및 R&D 용도에 적합합니다. 이를 통해 수익률 향상, 반복 처리 능력, 비용 관리 및 환경 준수를 향상시킬 수 있습니다. 모듈식 모델과 맞춤형 플랫폼을 통해 고객의 요구를 충족할 수 있습니다. 이 장비 는 빠르고 효과적 이며, 연마 를 위한 DC "브러쉬 '없는" 토크 모우터' 는 가장 어려운 재료 를 위한 평평 하고 부드러운 표면 을 만들어 낸다. 마지막으로, 강력한 AC 모터는 랩핑 및 그라인딩 작업을 최적화하고 일관된 표면 마무리를 보장합니다. 6DE-1 을 사용하면 품질 저하 없이 처리량을 향상시킬 수 있습니다.
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